材料表面工程第十二章.pptVIP

12-3-1注入离子的产生气态元素的离子化比较容易，例如把N2引入装置的离子源内，在高温灯丝加速电子的情况下，氮离子被电离，形成等离子体，正离子经由狭缝从离子源中被抽出，随后被加速。金属离子的电离较为复杂，需要比较复杂的设备。产生金属离子束，要先加热离子源中的挥发性金属化合物。第29页，共52页，星期日，2025年，2月5日离子注入机的结构示意图：正离子从离子源中引出后，具有一定的初速度。磁分析器从引出的正离子中选出所需要注入的纯度极高的离子。加速管将选出的正离子加速到所需能量，以控制注入深度。聚集扫描系统将离子束聚焦扫描，有控制地注入工件的表面。第30页，共52页，星期日，2025年，2月5日12-3-2离子注入改性的一般机理离子注入金属后能显著地提高其表面硬度、耐磨性、抗蚀性等。基本改性机理如下：1．损伤强化作用具有高能量的离子注入金属表面后，将和基体金属离子发生碰撞，从而使晶格大量损伤。严重的辐射损伤可使金属表面原子构造从长程有序变为短程有序；甚至形成非晶态，使性能发生大幅度改变。所产生的大量空位在注入热效应作用下会集结在位错周围，对位错产生钉扎作用而把该区强化。第31页，共52页，星期日，2025年，2月5日2．注入掺杂强化N，B等注入元素被注入金属后，与金属形成?’-Fe4N，CrN，TiN等氮化物，Be6B，Be2B等硼化物星点状嵌于材料中，构成硬质合金弥散相，使基体强化。第32页，共52页，星期日，2025年，2月5日3．喷丸强化作用高速离子轰击基体表面，有类似于喷丸强化的冷加工硬化作用。离子注入处理能把20％～50％的材料加入近表面区，使表面成为压缩状态。这种压缩应力能起到填实表面裂纹和降低微粒从表面上剥落的作用，从而提高抗磨损能力。4．增强氧化膜、提高润滑性离子注入会促进粘附性表面氧化物的生长，其原因是辐射温度与辐射本身对扩散的促进作用，该类氧化膜可显著减少摩擦系数。第33页，共52页，星期日，2025年，2月5日不同基体注入不同离子时对性能的影响：第34页，共52页，星期日，2025年，2月5日12-4-3离子注入技术的特点和应用由于注入的离子纯洁，首先被用于半导体元件的制造，目前市场上大部分硅元件都采用该工艺制造。随着高能量离子注入设备的开发，离子注入能力增大，许多新的应用领域被开发。第35页，共52页，星期日，2025年，2月5日对于离子注入技术，目前研究的两个主要突破方向是：(1)把离子注入作为改进材料的力学或化学性能的有效手段；(2)把离子注入作为冶金手段来研究液态介质腐蚀、高温氧化及溶质捕获等基本机制。第36页，共52页，星期日，2025年，2月5日离子注入技术主要特点：(1)注入离子的能量很高，可以高出热平衡能量的2～3个数量级。原则上讲，周期表上的任何元素，都可注人任何基体材料。(2)注入元素的种类、能量、剂量均可选择，用这种方法形成的表面合金，不受扩散和溶解度的经典热力学参数的限制，即可得到用其它方法得不到的新合金相。(3)离子注入层相对于基体材料没有边缘清晰的界面，因此表面不存在粘附破裂或剥落问题，与基体结合牢固。第37页，共52页，星期日，2025年，2月5日第1页，共52页，星期日，2025年，2月5日12-1概述采用激光束、离子束、电子束这三类高能束流对材料表面进行改性或合金化的技术，是近十几年来迅速发展起来的材料表面新技术，是材料科学的最新领域之一。第2页，共52页，星期日，2025年，2月5日用三束流对材料表面进行改性的技术主要包括两个方面：（1）利用脉冲激光器可获得极高的加热和冷却速度，从而可制成微晶、非晶及其它一些奇特的、热平衡相图上不存在的亚稳合金，从而赋予材料表面以特殊的性能。（2）利用离子注人技术可把异类原子直接引入表面层中进行表面合金化，引入的原子种类和数量不受任何常规合金化热力学条件的限制。第3页，共52页，星期日，2025年，2月5日三束流用于材料表面加热时，由于加热速度极快，整个基体的温度在加热过程中可以不受影响。用三束流直接加热的材料表层一般深度在几微米。电子束、离子束的脉冲宽度可短至10?9s，激光的脉冲宽度可短至10?12s，在被照物体上，由表面向里能够产生106～108K/cm的温度梯度，使表面薄层迅速熔化。冷的基体又会使熔化部分以109～1011K/s的速度冷却，致使固液界面以每秒几米的速度向表面推进，使凝固迅速完成。第4页，共52页，星期日，