洁净室运行管理幻灯.pptVIP

计算洁净室粒子平均浓度95%置信上限（UCL）根据系数表可以查到,当单个采样点数目m=9时,其分布系数t=1.9按2.6式计算的95%UCL值如下:≥0.3μm≥0.5μm5级所允许的最大悬浮粒子浓度，可以看出:对于≥0.3μm7713pcs/m3＜10200pcs/m3对于≥0.5μm948pcs/m3＜3520pcs/m3表明所测洁净室的悬浮粒子洁净度符合要求的级别。第29页，共52页，星期日，2025年，2月5日安装完成的过滤器装置体系的检漏与过滤器在生产厂制造完成后所进行的效率测试、检漏测试是不同的概念，出厂合格的过滤器可能因运输、安装受损而泄漏未经过滤的空气，高效空气过滤器与支撑框架周边的密封也是容易产生未经高效过滤器的空气泄漏的部位。高效过滤器检漏第30页，共52页，星期日，2025年，2月5日检漏方法分为使用气溶胶光度计与使用离散粒子计数器两种不同情况，采用气溶胶光度计进行检漏：a.在管路系统上在合适位置开孔，以注入测试气溶胶，b．适合于ISO5级或者洁净级别数更大的洁净室，c．检测所用的带有挥发性油基对洁净室的产品或工艺应是无害的。高效过滤器安装在吊顶、墙上或设备上时的检漏测试第31页，共52页，星期日，2025年，2月5日A.所使用的气溶胶材料通常有邻苯二甲酸盐（DOP）、癸二酸二酯（DEHS）和聚烯烃（PAO）。B.上风向测试气溶胶的浓度通常在10mg/m3至100mg/m3之间。C.要求无论在任何时刻或是任何位置上的气溶胶浓度，其比值不应超过2。使用气溶胶光度计扫描检漏的要求与方法第32页，共52页，星期日，2025年，2月5日检漏探头入口尺寸式中：Dp为与扫描方向平行的探头尺寸，cmFu为光度计实际采样流量，cm3/sV为高效空气过滤器实际风速，cm/sWp为与扫描方向垂直的探头尺寸，cm第33页，共52页，星期日，2025年，2月5日采样流量为28.3L/min(473cm3/s)的气溶胶光度计，当空气过滤器出口风速为0.5m/s时（50cm/s）时，如果检漏探管Wp为10cm，则按3.18式可得矩形探管的另一尺寸。此时，Wp/Dp=10/0.944=10.66大于要求的比值，如果检漏探管的Wp改为7cm，则此时，Wp/Dp=7/1.35=5.26符合要求。可考虑采用Wp=7cm,Dp=1.4cm的探管，此时探管入口风速为=48.2（cm/s）或0.482m/s接近于检测空气的流速。例题第34页，共52页，星期日，2025年，2月5日a.采用3cm×3cm方形探头进行横断面扫描时，其速度不应超过5cm/s，而矩形探头最大面积扫描速率不应超过15cm2/s。b.以前述矩形探头计算所得入口净尺为7cm×1.4cm尺寸为例，其有效入流面积为9.8cm2。如果沿扫描方向每秒进行2cm则扫描速率为7cm×2cm=14cm2/s15cm2/s，符合上述要求，那么610×610的高效空气过滤器从左至右扫描一行所需时间约为35秒，整个过滤器往复逐行扫描（共需9次）所需时间为9×35s=315s，即4分半钟时间。检漏探头扫描速度第35页，共52页，星期日，2025年，2月5日检测点应距离被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，通常认定高效空气过滤器泄漏的标准是光度计读值超过上风向浓度的10-4，即0.001%。检测方法扫描方法示意A－高效过滤器；B－粒子计数器检测口第36页，共52页，星期日，2025年，2月5日采用发生器气溶胶产生的测试的平均当量中值径应在0.1μm至0.5μm之间。气溶胶平均当量中值径尺寸应恰好选择在所用离散粒子计数器最敏感的粒径的中间尺寸点。在上风向通常要配置离散粒子计数器采样稀释装置，以保证采样气溶胶浓度不至高到超过离散粒子计数器允