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大规模集成电路显微图像自动采集系统：技术、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，大规模集成电路（VLSI）作为现代电子行业的核心技术之一，其重要性不言而喻。从日常使用的智能手机、电脑，到工业控制、航空航天等关键领域，大规模集成电路都扮演着至关重要的角色，是实现设备高性能、小型化和智能化的关键因素。据统计，全球集成电路市场规模在过去几十年中持续增长，2023年已突破5000亿美元，预计未来几年仍将保持稳定增长态势。这一数据充分显示了集成电路在现代经济和科技发展中的重要地位以及巨大的市场需求。

随着科技的飞速发展，芯片制造技术不断进步，芯片尺寸越来越小，复杂度越