先进表征方法与技术 课件 3.5 反射技术.pptx

3.5反射技术

5.1X射线/中子反射理论的原理

X射线反射（XRR）技术的起源可以追溯到1922年，当时康普顿提出，如果某物质对X射线的折射率小于1，根据光学定律，X射线在进入该物质时应该能够发生全反射。随后，普林斯和其他研究人员通过实验验证了X射线在光滑表面上遵循电磁学定律的反射行为。1954年，帕拉特提出了一个模型，将X射线反射率作为入射角函数进行解释，并将其应用于固体和液体界面的研究。这一模型的提出标志着X射线反射技术进入了理论与应用结合的新阶段。此后，X射线反射技术迅速发展，成为研究材料表面和界面结构的强有力工具。其应用范围不断扩大，广泛应用于薄膜厚度测量、界面粗糙度评估、多层膜