先进表征方法与技术 课件 2.4 应用实例.pptx

2.4应用实例

4应用实例自20世纪80年代以来，液态金属离子源已被广泛用于掩膜修复、微电子故障分析和电路编辑。聚焦镓离子束（FIB）是商用显微镜中最常用的液态金属离子源。其离子能量、束斑尺寸和电流大小的可调节性使其非常适合于从样品特定位置进行各种微纳米级加工与表征工作。

4.1透射电镜(TEM)样品制备聚焦离子束技术自上世纪七十年代被证明应用的可行性以来，最初广泛应用于在半导体行业中：例如材料的刻蚀、材料的沉积、掩模修补和集成电路的修改；利用注入效应直接对晶片进行无掩模注入；利用在线观察下纳米加工进行高密度集成电路的设计和缺陷分析。

近年来随着材料科学和先进原位表征学的发展，FIB开始在