先进表征方法与技术 课件 2.3 聚焦离子束功能.pptx

2.3聚焦离子束功能

3.1成像与SEM中生成图像的方式相同，聚焦的离子束也可以在样品表面上光栅扫描，并且可以检测发射的电子、粒子（原子和离子）和电磁辐射。传统的SEM成像是基于对二次电子（SE）的检测。到目前为止，FIB中的大多数成像都是基于检测低能电子，通常被称为离子诱导二次电子（Ion-InducedSecondaryElectron,ISE）。

3.1成像通常，每个入射的5–30keVGa离子会产生1–10个能量低于10eV的二次电子。这些电子产自受离子束辐照的样品区最顶层的几个原子层区域，在这些原子层中，入射离子撞击固体，产生的背散射或溅射粒子离开样品。低能电子的总