先进表征方法与技术 课件 2.1 聚焦离子束系统结构.pptx

2.1聚焦离子束系统结构

011聚焦离子束系统结构

1聚焦离子束系统结构聚焦离子束系统是用聚焦离子束代替扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)中所用的质量很小的电子作为仪器光源的显微分析加工系统。图1给出了聚焦离子束系统的结构示意图。在离子柱顶端的液态离子源上加一强电场来抽取带正电荷的离子，通过位于柱体中的静电透镜、可控的四极／八极偏转装置，将离子束聚焦并在样品上扫描，收集离子束轰击样品产生的二次电子／二次离子，获得聚焦离子束显微图像。为避免离子束受周围气体分子的影响，真空系统保证离子柱在高真空条件下(10-5～l0-6Pa)工作。样品室中装有多自由度样品台，以实现对样品不同位置和角度的分析