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T/ACCEMXXX-XXXX
高精度直线电机技术要求
1范围
本文件规定了高精度直线电机（以下简称“电机”）的基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、
标志、使用说明、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体设备、3C电子与汽车自动化、显示及光电产品制造、生物医疗、新能源、机
器人等领域应用的高精度直线电机的设计、生产、检验和使用。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中
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