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压阻式单片集成MEMS微流量计：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产和科学研究中，流量测量作为一项关键技术，发挥着举足轻重的作用。在石油化工领域，精确测量原油、天然气以及各类化工原料的流量，是保障生产过程稳定、优化工艺流程以及确保产品质量的基础。在能源领域，无论是电力生产中蒸汽流量的监测，还是新能源开发中氢气等新型能源的流量计量，都直接关系到能源的高效利用和可持续发展。在生物医学领域，对药液、血液流量的精准把控，更是关乎患者生命健康和治疗效果的关键因素。因此，准确、可靠的流量测量技术，已成为众多领域实现高效、精确运行的重要支撑。

传统的流量计在面对一些复杂工况和特