固体中的原子扩散.pptVIP

故erf(z)=0.7143=0.7112+x(0.000618)所以：x=5即z=0.75+5(0.001)=0.755第30页，共66页，星期日，2025年，2月5日例7.51100oC时镓在硅单晶片的表面上进行扩散。如硅晶体表面处镓的浓度为1024原子/cm3，求3小时后距离表面多深处镓的浓度为原子1022原子/cm3？(已知D1100=1.28?10-17m2/s)解：已知:Cs=1024原子/cm3;C0=1022原子/cm3;t=3(hours)=1.08?104(s)D=7.0?10-17m2/s第31页，共66页，星期日，2025年，2月5日第32页，共66页，星期日，2025年，2月5日第33页，共66页，星期日，2025年，2月5日所以，z应该介于1.8和1.9之间。注意到：1.9-1.8=0.1erf(1.9)-erf(1.8)=0.0037第34页，共66页，星期日，2025年，2月5日故erf(z)=0.99=0.9891+x(0.00037)所以：x=2即z=1.8+2(0.01)=1.83第35页，共66页，星期日，2025年，2月5日§7.2扩散的微观机制一、扩散的机制主要有间隙机制、空位机制、填隙机制、换位机制等。参与扩散的可以是原子。也可是离子。第36页，共66页，星期日，2025年，2月5日第37页，共66页，星期日，2025年，2月5日第38页，共66页，星期日，2025年，2月5日第39页，共66页，星期日，2025年，2月5日换位机制第40页，共66页，星期日，2025年，2月5日二、原子热运动与扩散设间隙原子由位置1运动到位置2，应克服势垒?Gm=G2-G1。按照经典理论，只有自由能高于G2的原子才可能发生迁移。为考察扩散与原子热运动的关系，先考察相邻两个晶面的物质的迁移关系。第41页，共66页，星期日，2025年，2月5日第42页，共66页，星期日，2025年，2月5日第43页，共66页，星期日，2025年，2月5日假设A、在给定条件下发生扩散的溶质原子跳到其相邻位置的频率（跃迁频率）为?B、任何一次溶质原子的跳动使其从一个晶面I跃迁到相邻晶面II的几率为pC、晶面I和晶面II上的扩散原子的的面密度分别为n1和n2。第44页，共66页，星期日，2025年，2月5日则在时间间隔?t内、单位面积上由晶面I跃迁到晶面II上的溶质原子数为：NI?II=n1p??t则在时间间隔?t内、单位面积上由晶面II跃迁到晶面I上的溶质原子数为：NII?I=n2p??t第45页，共66页，星期日，2025年，2月5日如n1n2,则单位面积的晶面II所得溶质原子净值为：NI?II—NII?I=n1p??t—n2p??t=J?tJ=(n1-n2)p?式中：J为扩散通量(diffusionflux)第46页，共66页，星期日，2025年，2月5日如相邻两晶面的面间距为a,则晶面的溶质原子的体积浓度C与溶质原子的面密度n的关系为:第47页，共66页，星期日，2025年，2月5日第1页，共66页，星期日，2025年，2月5日§7.1扩散定律及其应用一、扩散定律1855年，A.Fick总结了扩散规律第一定律：（Fick’sFirstLaw）单位时间内通过垂直扩散方向的单位截面积的扩散物质量（扩散通量）与该截面处的浓度梯度成正比。第2页，共66页，星期日，2025年，2月5日如扩散沿x轴进行，则其中，D为扩散系数(m2/s)C为体积浓度(g/m3或mol/m3)J为扩散通量(g/(cm2s)或mol/(cm2s))第3页，共66页，星期日，2025年，2月5日负号表示扩散方向与dC/dx方向相反，即从高浓度向低浓度方向扩散Fick’sFirstLaw主要处理稳态扩散（steady—statediffusion）问题,此时，C=C(x)，与时间t无关第4页，共66页，星期日，2025年，2月5日例7.1如硅晶体中原来每10,000,000个原子含1个磷原子，经过掺杂处理后其表面为每10,000,000个原子含400个磷原子。假设硅晶片厚0.1cm。试求其浓度梯度。以1)at%/cm;2