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氧化钴半导体气敏材料对污染气体的检测分析研究
Title:DetectionandAnalysisofContaminatedGasesbyCobaltOxideSemiconductorGas
SensitiveMaterials
摘要
因为汽车废气、工业废气、家庭产生的污染气体的增加，导致空气污染越来越严重。开发一种低成本、高性能的气体传感器来监测大气是当下越来越重要的任务。其中，半导体金属氧化物传感器由于制备成本非常低、灵敏度高、响应速度快/恢复时间短、器件制备简单界面友好、维护方便、检测能力强等因素成为了最具潜力气敏传感器
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