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飞秒激光：开拓铌酸锂与钇铝石榴石晶体光波导器件的新维度

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信、光计算等领域对高性能光波导器件的需求日益增长。光波导作为集成光子学中的关键元件，能够引导光信号在微米级截面的通道内以无衍射的方式传输，确保腔内维持相对较高的光密度，进而使块体材料原有的光学性质在波导中得以一定程度的增强，在光通信、量子信息、传感等领域发挥着举足轻重的作用。传统的光波导制备方法如化学气相沉积（CVD）、离子交换等，存在着工序繁复、设备昂贵、材料组成受限等问题，难以满足日益增长的高性能、微型化和多样化的需求。

飞秒激光直写技术作为一种新兴的微纳加工技术，自1