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二氯二氢硅的物化性和危害及防范措施

1.别名英文名·

二氯硅烷；DichIorosilane．

2.用途：

电子气、外延、化学气相淀积。

3.制法：

(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。(2)在高温

下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。

二、理化性质

分子量：101.010熔点：-122.0℃、沸点(101.325kPa)：8.2℃、

液体密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m、气体密度(25℃，101.325kPa)：

4.168kg/m、相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·、

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m/kg、气液容积比(15℃，100kPa)

290L/L、临界温度：176.0℃、临界压力：4676kPa、临界密度：

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463kg/m3

、气化热(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg、比热容(25℃，气体)：

Cp=611.27J/(kg·K)、蒸气压(-20℃)：31.4kPa、(0℃)：81.1kPa

、(20℃)：167.2kPa、粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s

、表面张力(20℃)：11.9mN/m、空气中可燃范围(20℃，101.325kPa)：

4.1%～98.8%(体积)、自燃点：100.0℃

二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色

有毒气体。空气中易燃，100℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢

和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不

定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。

遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。

与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生

激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成

氟硅烷。

三、毒性

有毒气体范围：0.25ppm、嗅觉浓度：～1ppm、刺激性

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浓度：～10ppm、最高容许浓度：0.5ppm(2mg/m)

二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引

起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉

痉挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起

化学烧伤。液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。

四、安全防护

可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设

二氯硅烷的管道。气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室

外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用

前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所

有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时，应把二

氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。

有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用

铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、

钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚

三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯

硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。

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当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。灭火时，如果用

水，则产生大量氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者

都不可用。可以用二氧化碳和砂子。废气可用水或苛性钾等碱液吸收，

可以用相应的吸附剂吸附，也可以在严格控制下燃烧