《GB_T 16596-2019确定晶片坐标系规范》专题研究报告.pptx

;目录;;GB/T16596-2019制定时的行业背景是什么？为何亟需统一晶片坐标系规范;;（三）从专家视角看，该标准在晶片制造精度控制中的核心价值体现在哪些方面;;;;;;;;;（二）确定坐标原点的具体步骤是什么？如何根据晶片类型选择合适的原点定位方法;遵循与晶片加工方向一致、便于测量的原则；坐标轴校准精度误差需≤0.001mm，通过专用校准仪器检测，不符合要求需重新调整，保证坐标轴方向精准。;;;;;（三）专家如何看待标准精度要求与实际生产能力之间的平衡？是否存在需优化调整的空间;;;;;;;;;;;;;;（二）人工智能技术在晶片制造中应用增多，该标准如何