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MEMS加速度计嵌入式批量自动化测试系统设计吴志强，等

MEMS加速度计嵌入式批量自动化测试系统设计

oftheEmbeddedAutomatedBatchforMEMS

DesignTestingSystem

关志琵卵锔朱砍华

(南京理工大学机械工程学院，江苏南京210094)

摘要：针对MEMS传感器人工测试、筛选存在的工作效率低、易出错等缺点，设计了一种MEMS电容式加速度计嵌入式自动化测试

系统。系统主要由嵌入式多通道数据采集模块及上位机组成，两者通过USB接口进行通信。为提高测试效率，嵌入式数据采集模块

采用微控制器控制4片菊花链方式级联的ADSl278，实现32通道模拟输出的同步采样。经测试，各通道有效分辨率均优于21bits，满

足系统设计指标要求。应用虚拟仪器技术设计了应用软件。实测结果表明该系统可大大提高MEMS传感器测试、筛选的效率。

关键词：自动化测试设备批量测试MEMS电容式加速计菊花链ADSl278

中图分类号：TP216文献标志码：ADOI：10．16086／j．cnki．issnl000—0380．201509019

theoflowandonDrinmanualandofMEMSembedded

Abstract：Consideringselectingsensors．the

disadvantagesefficiencypronetesting

automaticforMEMSaccelerometerisconsistsofembeddedmulti-channeldata

designed．Themainly

testingsystemcapacitancesystem

moduleandhostbothcommunicatewitheachotherviaUSBinterface．Inordertoenhance

acquisitioncomputer。andtestingefficiency。the

embeddeddatamoduletocontrol4chaincascadeof32·

micro—controller

acquisitionadoptsdaisyADSl278，toimplementsynchronoussampling

channelthan21bitsandmeetstheindexes．The

testsshowthattheeffectiveresolutionofeachchannelisbetter

analogoutputs．Theldesign

test

softwareisvirtualinstrumentresultsofindicatethattheenhancesthe

applicationtechnology．Thesystemgreatly

designedbyusingpractical

of