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CORDIC算法在光栅莫尔条纹细分中的应用卢少武。等

CORDIC算法在光栅莫尔条纹细分中的应用

ofCORDICinSubdivisionofMoir6

ApplicationAlgorithmGratingFringe

卢步武唐J两马滑庀邹膊欢

(华中科技大学国家数控系统工程技术研究,Gt，湖北武汉430074)

摘要：目前光栅莫尔条纹细分技术在数控机床、超精加工、精密仪器等领域得到了广泛的应用。考虑到光栅细分系统的精度、速度

和抗干扰能力等多方面指标，提出了一种新的莫尔条纹细分技术，并通过CORDlC算法对不足一个周期的正弦信号进行细分，直接提

取相位信息。光栅细分系统将CORDIC算法应用于FPGA中，能够对莫尔信号进行很好的细分处理，满足高精度的要求，实验结果验

证了其正确性及可行性。

FPCA

关键词：光栅细分精度相位CORDIC

中图分类号：TH712文献标志码：A

Abstract：AtofMoir6subdivisionhasbeenusedinalt6asofCNCmachinefinishing-

present-thetechnologygratingfringewidelymanytool-super

the

andtheindexesinanti-interferencefornew

preciseinstmrnents-etC．Consideringaccuracy，印eed，andcapabilitysubdividingsystem。atechnique

ofsubdivisionofisforsinusoidalthatislessthanoneCORDICisusedtothe

Moi眄fringeprop鸺ed；andsignalsegmentcycle-theal剃tllmgetphase

informationisintothecanbewellforsub-

thissubdivisionalgorithmFPGA，thusMoire面印alprocessed

direcdy．Ingra6ngsystem，CORDICapplied

of

divisiontomeetofresulthasverifiedthecorrectn嘲andthemethod．

requirementhighaccuracy．Theexperimentalfeasibility

PhaseFPGA

SubdivisionCORDIC

Keywords：GratingAccuracy

用幅值比细分、相位或频率细分等多种细分的方法。

0引言

根据实际情况，采用按相位的细分方法是一种较为常

光栅是高精度位移测量1=具，光栅的位移测量技用的方法，即正弦信号整周期部分采用峰值计数其相

术是以光栅相对移动所形成的莫尔条纹信号为基础位；信号不足整周期部分，则采用CORDIC算法计算其

的，即由于光栅的相对移动，使透射光的光强度呈周期相位，其基本的数学计算公式就是反正切函数。

性变化。这种光强信号经光电管变为周期性变化的电CORDIC算法将直角坐标转换为极坐标，将复杂的算

信号(正弦波信号)，对