声表面波驱动二维微动定位的研究.pdfVIP

摘要

随着微电子工艺技术的发展以及芯片尺寸受摩尔定律的约束，在微米数量

级研制机电系统已成为可能。微机电系统（MEMS）是将微型传感器及处理器

等集成在一起的体系，已在航空航天及汽车电子领域得到广泛应用。然而，相

较于微传感器，微驱动器的研究及市场化明显滞后，目前大多数微驱动器存在

加工困难、整体尺寸大、位移误差明显等问题，难以满足在复杂狭小的工作环

境内实现微动的需求。为了解决这一问题，采用新的微驱动方式，开展二维高

精度位置控制技术的研究并进行实验验证。

针对在二维方向上实现目标载体微动的需求，设计了基于声表面波驱动的

二维微动平台模型。微动平台采用全柔顺并联机构设计，保证了平台的运动精

度。平台的柔性铰链采用周期性波动结构，这种结构具有变形大、刚度小的特

征，能克服声表面波驱动存在的驱动电压和输出力较小的缺点。为了提高声表

面波驱动效率，在平台中间加工通孔，将直径1mm的钢球与小孔配合，采用

液滴作媒介，利用小球与液滴接触耦合的新式驱动结构，将外界信号驱动电

压、液滴体积、液滴粘度作为影响湿球驱动效果的因素，验证声流力公式推导

的合理性。采用基于有限元的RSM优化算法对平台模型进行优化设计，选择

合适参数，提升平台质量特性，对平台模型进行仿真分析，验证优化方案的合

理性。最后，完成实验平台搭建，开展一维方向微动实验。对比新式驱动模型

和传统非接触式驱动模型的驱动效果，并在微流体驱动理论的基础上，研究驱

动电压、液滴体积、液滴粘度等因素对平台驱动的影响。

在一维方向微驱动实验的结论基础上，开展二维微驱动实验。二维运动可

近似看成两个垂直方向一维运动的叠加，需要对模型的耦合性进行检验。由于

声表面波沿X、Y方向传播速度不同，因此可以通过调节X、Y方向输入信号

的驱动电压来改变二维微动平台的运动轨迹。实验结果表明，该模型耦合度误

差小于2μm，重复定位精度误差小于1.8μm，在二维X、Y方向上可以实现

平台在300μm范围内有效驱动。

关键词：微机电系统；声表面波；微动平台；微流体；二维运动

μmandtherepeatedpositioningaccuracyerror

islessthan1.8μm,andtheplatformcanbeeffectivelydrivenintherangeof

300μminthetwo-dimensionalXandYdirections.

Keywords:mems,surfaceacousticwave,micro-movingplatform,microfluid,

two-dimensionalmotion

目录

摘要I

ABSTRACTII

第1章绪论1

1.1课题来源1

1.2课题研究的目的及意义1

1.3国内外研究现状2

1.3.1国外研究现状2

1.3.2国内研究现状6

1.4本文的主要研究内容7

第2章微动平台模型的设计与分析9

2.1引言9

2.2微动平台总体机构设计9

2.3柔性铰链设计与分析11

2.3.1柔性铰链结构设计11

2.3.2柔性铰链变形分析14

2.3.3柔性铰链刚度分析19

2.4微动平台整体静刚度分析25

2.5本章小结27

第3章声表面波驱动模型的设计与分析28

3.1引言28

3.2叉指换能器的设计与制造28

3.2.1叉指换能器设计28

3.2.2叉指换能器加工34

3.3驱动载体理论分析34

3.3.1目标载体结构设计34

3.3.2声流效应理论分析35

3.3.3驱动湿球力学分析41

3.3.4驱动湿球实验验证43

3.4本章小结47

第4章一维微动平台方案验证49