半导体材料测试与表征.ppt

半导体材料测试与表征第1页，共18页，星期日，2025年，2月5日参考文献：1.蓝闽波.纳米材料测试技术[M].华东理工大学出版社,2009.5,34~120.2.周玉.材料分析测试技术[M].哈尔滨工业大学出版社,2007.8.3.陈文哲.材料测试与表征技术的挑战和展望[J].理化检验,2007,43(5):89~91..4.吴征铠，唐敖庆.分子光谱学专论，山东科学技术出版社，1999.5.王斌,徐晓轩,秦哲,宋宁,张存洲.分子束外延n-GaAs/SI-GaAs薄膜材料的拉曼光谱研究.光谱学与光谱分析.2008,28(9):2013-2016.第2页，共18页，星期日，2025年，2月5日材料测试与表征的作用和地位成分结构制备性能第3页，共18页，星期日，2025年，2月5日性能测试力学性能物理性能化学性能第4页，共18页，星期日，2025年，2月5日结构表征内容：材料成分分析、结构分析，也包括材料表面与界面分析、微区形貌分析以及缺陷等一般原理：通过对表征材料的物理性质或物理化学性质参数及其变化的检测，分析测量信号获知材料成分、结构等。第5页，共18页，星期日，2025年，2月5日材料结构表征的内容与基本方法成分分析结构分析形貌分析化学价键分析表面与界面分析XRD、IR、Raman、XPS、AESXRD、ED、Raman、中子衍射TEM、SEM、AFM、STMIR、RamanXPS、AES第6页，共18页，星期日，2025年，2月5日20世纪50年代20世纪70年代现代导电类型、载流子浓度、迁移率、杂质含量层错、位错密度、夹杂和孪晶等半导体薄膜的表面、异质结界面性质、薄膜材料的组分和结构分析纳米级研究半导体材料的测试与表征电阻率、霍耳系数、磁阻、光电导、光吸收、X射线衍射、金相观察结电容技术、激光光谱技术、俄歇电子能谱、二次离子质谱和电子显微分析技术测试表征第7页，共18页，星期日，2025年，2月5日拉曼光谱是一种散射光谱。拉曼光谱分析法是基于印度科学家C.V.Raman在1928年所发现的拉曼散射效应，对与入射光频率不同的散射光谱进行分析以得到分子振动、转动方面信息，并应用于分子结构研究的一种分析方法。拉曼光谱第8页，共18页，星期日，2025年，2月5日h??基态E0振动激发态E1h?0h?0h?0h?0+??E1+h?0E0+h?0h(?0-??)激发虚态Rayleigh散射Raman散射拉曼原理第9页，共18页，星期日，2025年，2月5日h(?0+??)E0E1E1+h?0E2+h?0h??h?0h(?0-??)ANTI-STOKES?0-??RayleighSTOKES?0+???0第10页，共18页，星期日，2025年，2月5日Raman位移：Raman散射光与入射光频率差??表征分子振-转能级的特征物理量；定性与结构分析的依据。??取决于分子振动能级的改变,与入射光波长无关；拉曼位移、退偏振比退偏振比与入射偏振方向垂直的拉曼散射光强度与入射偏振方向平行的拉曼散射光强度退偏比可以提供有关分子振动的对称性及分子构型的信息。第11页，共18页，星期日，2025年，2月5日激光拉曼光谱仪第12页，共18页，星期日，2025年，2月5日单色仪光电倍增管高压电源光子计数器驱动电路计算机显示器样品激光器凹面镜第13页，共18页，星期日，2025年，2月5日