高分辨水凝胶纳米结构制备及其在可调控光子结构中的应用.pdfVIP

摘要

有机高分子材料具有生物亲和性、柔性、易于制备等特点，因此科学家们

对此类材料的纳米结构进行了广泛地研究，有机纳米光子结构的机制和原理也

日趋成熟。目前，多波段响应、实时、可调控的纳米光子结构与器件已被提上

了应用研究日程。但是可调控高分子材料的纳米加工技术有限，一般是无法镀

膜、沉积的，因此与无机可调材料相比，高分子结构一般只是通过涂膜、自组

装等方式形成大面积薄膜衬底，配合其上的额外结构，实现有限的调控功能。

因此能否实现活性有机纳米结构，进而实现可调节的光子结构成为新的应用研

究突破点。在本论文中，发现聚乙烯醇（PVA）可以利用电子束曝光技术，形

成高分辨率的水凝胶纳米结构，进而可实现活性可调的光子结构。基于此，本

论文的主要工作如下：

（1）我们证明了PVA可以作为电子束曝光的负性抗蚀剂，其分辨率窄至

50纳米半间距。此外，通过近场红外表明，聚乙烯醇水凝胶在电子束辐照后，

其亲水基团还是稳定的。因此，聚乙烯醇纳米图案化后仍然对湿度变化表现出

快速的响应活性，展现出快速的颜色变化响应。我们建立了包括溶解、旋涂和

显影在内的全水相纳米图案化工艺，该工艺对有机材料和器件的制造兼容性很

高，有助于未来水凝胶相关纳米器件的设计和开发。

（2）我们通过将无机介电纳米颗粒阵列替换为聚乙烯醇水凝胶纳米结构，

实现了湿度响应的活性光子结构。研究发现，由于二次电子散射机制的制约，

增加电子束曝光剂量并不能实现直径的可控增加。我们开发出了低电压曝光机

制，抑制二次电子在深度方向的纵向散射，实现了曝光计量对曝光直径的有效

调控。最终证明了水凝胶纳米结构在多波段、多湿度下的光谱响应变化，结构

随着湿度的增加光谱红移。利用聚乙烯醇纳米结构对湿度的快速响应，可以实

现防伪功能。这为动态调控纳米结构材料，提供了一种新的研发思路。

关键词:纳米光子学，电子束曝光，湿度传感，水凝胶，聚乙烯醇。

ABSTRACT

Organicmaterialsowntheadvantagesofbiocompatibility,flexibilityand

easy-access.Therefore,theextensiveresearchonthenanostructuresofsuch

materialshavebeencarriedoutbyscientists,andthestudyoforganicnanostructure

innanophotonicsisdevelopingquickly.Atpresent,multi-bandresponsive,real-time

tunable,dynamicallycontrollablenanophotonicstructuresanddevicesisare

desirableforpracticalapplication.However,thenanofabricationtechniqueof

tunablepolymermaterialsislimited,whichcannotbeevaporatedordeposited.

Comparedwithtunableinorganicmaterials,polymerfilmsaregenerallyformed

throughcoating,orself-assembly,andrealizeslimitedperformance.Therefore,

whethertheactiveorganicnanostructuresandthetunablephotonicstructurecanbe

realizedhavebecomeanewchallengeinapplicationresearch.