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MgZnO日盲紫外探测器：制备工艺与性能优化的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

日盲紫外探测技术在当今多个关键领域都发挥着不可或缺的重要作用。在军事领域，它成为现代战争中至关重要的探测预警技术。由于大气层中臭氧的吸收，200-280nm波长区域内的紫外线在大气层中几乎不存在，这一波段被称为日盲紫外波段。导弹和飞机在高速飞行时，尾焰会辐射出大量的日盲紫外光，近地表面目标的日盲紫外探测避开了阳光干扰，具有极高的信噪比，能够有效减少信号处理难度，进而实现对来袭导弹的精准探测与预警，为军事防御争取宝贵的反应时间。在导弹尾焰探测方面，日盲紫外探测器能够快速捕捉到导弹发射时尾焰中的日盲紫外信号，通过对信号的分析和处理，可以确定导弹的发射位置、飞行轨迹等关键信息，为防御系统提供准确的目标数据，使防御方能够及时采取有效的应对措施，如发射拦截导弹、启动防空系统等，从而大大提高了军事防御的能力和效率。

在工业领域，日盲紫外探测技术也有着广泛的应用。在火焰探测方面，许多工业生产过程中都存在火灾隐患，如石油化工、钢铁冶炼等行业。日盲紫外探测器可以实时监测环境中的日盲紫外光信号，一旦检测到火焰产生的日盲紫外辐射，能够迅速发出警报，通知工作人员采取灭火措施，有效避免火灾的蔓延和扩大，保障工业生产的安全。在高压输电线电晕检测中，高压输电线在运行过程中会产生电晕放电现象，这不仅会造成电能损耗，还可能引发安全事故。日盲紫外探测器能够检测到电晕放电产生的日盲紫外光，通过对电晕放电的强度和位置进行监测和分析，可以及时发现输电线路的故障隐患，为电力部门的维护和检修提供依据，确保电力系统的稳定运行。

在科研领域，日盲紫外探测技术为科学家们探索未知世界提供了有力的工具。在天体物理观测中，宇宙中的许多天体都会辐射出日盲紫外光，通过对日盲紫外光的探测和分析，科学家们可以了解天体的物理性质、演化过程等信息，为研究宇宙的起源和发展提供重要的数据支持。在材料科学研究中，日盲紫外探测技术可以用于研究材料的光学性质、表面缺陷等，帮助科学家们开发新型材料，提高材料的性能和质量。

MgZnO材料作为制备日盲紫外探测器的理想材料之一，具有诸多显著优势。ZnO在常温下的禁带宽度为3.37eV，通过在ZnO中掺杂Mg元素，形成MgZnO合金化合物半导体，其带隙可调节至7.8eV，这使得MgZnO能够涵盖整个日盲紫外波段，通过精确调节带隙，可对不同波长的紫外光产生精准响应。同时，MgZnO薄膜探测器具有响应度高、暗电流低的特点，这使得它能够在微弱的日盲紫外光信号下仍能保持良好的探测性能，很容易获得高信噪比的探测器器件，为实现高性能的日盲紫外探测提供了坚实的基础。此外，MgZnO材料还具有生长温度较低（100-750°C）、抗辐射能力强、成本低、原料丰富等优点，这些优势使得MgZnO材料在日盲紫外探测器的制备中具有广阔的应用前景，对于推动日盲紫外探测技术的发展和应用具有重要的研究价值。

1.2MgZnO日盲紫外探测器研究现状

国内外众多科研团队在MgZnO日盲紫外探测器的制备和性能研究方面开展了大量工作，并取得了一系列重要进展。在制备工艺上，射频磁控溅射法凭借其独特优势成为常用方法之一。有研究通过该方法，精心调节生长参数，如溅射功率、气体流量、衬底温度等，成功制备出具有六方单一相的特定Mg组分的MgZnO合金薄膜，并在此基础上，运用直流溅射和湿法刻蚀等技术，成功制备出MSM电极结构的MgZnO日盲紫外光电探测器，为探测器的制备提供了一种有效的技术路径。

在性能研究方面，众多成果展现出MgZnO材料的潜力。有研究通过巧妙调控Mg含量，形成混相结构，使探测器性能得到显著提升。还有研究在混相MgZnO中先蒸镀一层Ag膜，再进行退火处理，成功形成不同尺寸的Ag纳米颗粒，并深入研究发现特定尺寸的Ag颗粒对器件性能提升效果最佳，为进一步优化探测器性能提供了新的思路和方法。

尽管目前取得了一定成果，但当前研究仍面临诸多挑战。MgZnO合金薄膜的分相问题仍是亟待解决的关键难题。由于MgZnO合金是由六方相结构的ZnO和立方相结构的MgO按照一定比例固溶而成，在固溶过程中存在一个较宽的结构分相区域，这使得获得响应在日盲波段的单一相合金薄膜难度极大，严重影响探测器的性能稳定性和一致性。此外，在提高探测器的响应速度、降低噪声等方面，虽然已经取得了一些进展，但仍有很大的提升空间，需要进一步深入研究和探索新的技术方法和材料体系。

1.3研究目标与内容

本研究旨在通过深入探究和优化制备工艺，全面提高MgZnO日盲紫外探测器的性能，以满足日益增长的实际应用需求。在制备工艺优化方面，将系统研究射频磁控溅射过程