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外延工工艺作业操作规程

文件名称：外延工工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于所有从事外延工艺操作人员。规程旨在确保外延工艺操作过程中的安全，提高生产效率，防止事故发生。操作人员必须熟悉并严格执行本规程，确保人身安全和设备完好。规程内容包含但不限于操作前的准备、操作步骤、安全注意事项以及事故处理等。

二、操作前的准备

1.安全检查：操作前必须对工作区域进行彻底的安全检查，确保无任何可能导致事故的隐患。包括检查电气线路是否完好，消防器材是否在位，以及是否清除易燃易爆物品等。

2.防护措施：操作人员需穿戴符合规定的个人防护装备，如防护眼镜、耳塞、防尘口罩、防护手套、实验服等，以确保在操作过程中不受化学药品、粉尘和辐射等危害。

3.设备检查：

a.检查设备是否处于良好工作状态，包括电源开关、操作面板、传感器等；

b.确认设备清洁无杂质，确保操作表面干净，防止污染；

c.检查设备的安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、防护罩等；

d.对设备进行预热或调整，确保其符合工作要求。

4.原材料与试剂：

a.检查原材料和试剂是否符合要求，有效期是否在限期内；

b.检查试剂瓶标签是否清晰，存放是否符合规范；

c.对于剧毒、易燃易爆的试剂，应单独存放，并设置明显的警示标志。

5.环境检查：

a.检查实验室的温度、湿度是否符合工艺要求；

b.确保实验室通风良好，有害气体排放设备正常运行；

c.检查实验室的废弃物处理设施是否到位。

6.人员培训：

a.操作人员必须接受相关设备的操作培训，掌握安全操作规程；

b.确保操作人员熟悉应急处理措施，能在紧急情况下迅速应对。

7.记录准备：

a.操作前填写《操作记录表》，详细记录设备状态、原料用量、操作时间等信息；

b.记录表应放置在操作区域便于查看的位置。

8.确认工作票：在开始操作前，确认已领取并熟悉《工作票》，确保操作符合既定工艺流程和安全规范。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行设备预热，达到设定的工作温度；

b.检查设备运行状态，确保各部件正常；

c.安装并固定外延生长所需的原材料；

d.开启设备，按照工艺要求设定参数；

e.开始外延生长过程，监控生长参数；

f.生长完成后，关闭设备，停止生长过程；

g.取出外延片，进行初步检测。

2.作业方式：

a.操作人员应按照工艺流程图和设备操作手册进行操作；

b.操作过程中，注意观察设备状态和生长参数的变化；

c.如发现设备异常或生长参数异常，应立即停止操作，按照异常处置程序进行处理；

d.操作过程中，不得擅自更改设备参数或工艺流程。

3.异常处置：

a.设备异常：立即停止设备运行，断开电源，检查设备故障原因，必要时联系维修人员进行维修；

b.生长参数异常：立即停止生长过程，检查参数设置是否正确，调整参数或设备状态，恢复正常后再继续生长；

c.环境异常：如实验室温度、湿度等环境参数异常，应立即采取措施进行调整，必要时停止操作，确保环境安全；

d.人员伤害：如发生人员伤害，应立即停止操作，采取急救措施，并及时报告上级管理人员。

4.操作步骤详细说明：

a.设备预热：根据工艺要求设定预热温度和时间，确保设备稳定运行；

b.设备检查：启动设备，观察各部件运行情况，确认设备无异常；

c.原材料安装：将原材料固定在设备上，确保位置准确；

d.参数设定：根据工艺要求，设定生长参数，如温度、压力、生长速度等；

e.生长监控：通过监控屏幕实时观察生长过程，确保生长参数稳定；

f.生长完成：生长结束后，停止设备，取出外延片，进行初步检测；

g.数据记录：将操作过程、设备状态、生长参数等信息记录在操作记录表上。

5.结束工作：操作完成后，清理工作区域，关闭设备，确保安全后离开工作岗位。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动或噪音；

b.设备各部件温度正常，无过热现象；

c.设备运行速度和压力符合工艺要求；

d.设备显示界面上的各项参数稳定，无跳变或报警信号；

e.通风系统运行正常，无有害气体积聚；

f.液压系统压力稳定，无泄漏现象；

g.电力供应稳定，无电压波动。

2.异常现象识别：

a.设备出现异常振动或噪音，可能是轴承、齿轮等部件损坏或松动；

b.设备部件温度异常升高，可能是冷却系统故障或负载过重；

c.设备运行速度或压力不符合工艺要求，可能是控制程序错误或传感器故障；

d.显示界面参数异常跳动或报警，可能是传感器故障或控制