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物理学20191261--- TiN基硬质涂层的应用及国内市场调查.pdf

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    题目：TiN基硬质涂层的应用及国内市场调查

    摘要

    摘要

    从上世纪七十年代TiN膜被以气相沉积的方式在实验中被制得以来，相关研究者一

    直致力于其性能的改进和应用领域的开发。从这近半个世纪的发展来看，TiN膜的应用

    已经取得了相当瞩目的成果。特别是通过加入不同元素，如Al、Cr、Nb、Zr、Cu、Si、

    B等，研制得到的各种TiN基硬涂层，其各方面性能都普遍优于原TiN涂层，因此

    TiN基硬涂层被更广泛地使用在工业生产

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