(2026年)实施指南《GBT16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则》.pptxVIP

;目录;;标准制定的行业背景与核心目标解析;（二）缺陷分类的核心逻辑与划分维度详解;（三）标准分类体系的实践价值与行业适配性;;尺寸定义与光掩模使用性能的核心关联;;;;致命与严重缺陷的甄别标准与判定流程;（二）一般与轻微缺陷的区分要点与处理原则;（三）缺陷甄别中的常见误区与专家规避技巧;;;适配性呈“基础适配但细节不足”特点：分类核心逻辑（按影响程度划分）仍适用，但缺陷类型需补充EUV掩模特有缺陷；尺寸定义的量化方法可行，但阈值需

大幅下调；检测流程框架合理，但需融入自动化检测技术要求。对28nm及以上成熟制程适配性良好，先进制程中需作为基础框架，结合