《各种真空泵》教学课件核心要点与难点突破技能培养与思维训练.pptxVIP

《各种真空泵》教学课件

作者：一诺文档编码：AqreXkw1-ChinatHHQ2fZS-ChinaUQIFKavD-China

真空泵概述

真空泵按工作原理可分为机械式和喷射式和吸附式三大类：机械式通过机械运动压缩气体，利用容积变化实现抽气；喷射式借助流体高速喷射引射气体，无运动部件；吸附式则依靠物理或化学吸附作用捕获气体分子，适用于高真空环境，各有独特优势。

按工作压力范围划分，真空泵涵盖粗真空和高真空和超高真空三类:粗真空泵如水环泵和往复泵，常用于真空过滤和干燥；高真空泵如油扩散泵和罗茨泵，需与前级泵配合，用于镀膜和冶炼；超高真空泵如分子泵和钛升华泵，可实现极限高真空，服务于航天和科研等领域，满足不同工艺需求。

从应用领域看，真空泵可分为工业用和科研用和医疗用：工业用泵侧重稳定性和大抽速，用于化工和电力；科研用泵追求高真空度和洁净度，支撑物理实验和材料分析；医疗用泵强调低噪音和无油污染，适用于医疗器械灭菌和真空吸引等场景，适配多元场景需求。

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空技术为半导体制造提供洁净无尘的环境，支撑薄膜沉积和离子刻蚀等核心工艺，确保芯片微细结构的精度与良率，是集成电路产业从晶圆加工到封装测试的关键保障。

真空技术在航天领域发挥不可替代作用，通过模拟太空高真空环境,保障卫星零部件和航天器热控材料的性能测试，同时为火箭发动机燃烧室提供真空测试条件，助力深空探测与载人航天任务安全推进。

在科学研究前沿，真空技术为高能物理实验中的粒子加速器创造超高真空环境，减少粒子与气体分子碰撞干扰，支撑材料科学研究中的真空熔炼和表面分析等实验，推动新型功能材料与量子器件的突破性发展。

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领域

期真空泵发展以机械式为主，世纪发明往复式真空泵，世纪初出现旋片泵和滑阀泵，逐步实现低真空获取；中期油扩散泵和罗茨泵突破高真空瓶颈，为电子工业和核物理研究奠定基础，技术演进围绕真空度提升与稳定性优化展开。

期真空泵发展以机械式为主，世纪发明往复式真空泵，世纪初出现旋片泵和滑阀泵，逐步实现低真空获取；中期油扩散泵和罗茨泵突破高真空瓶颈，为电子工业和核物理研究奠定基础，技术演进围绕真空度提升与稳定性优化展开。

期真空泵发展以机械式为主，世纪发明往复式真空泵，世纪初出现旋片泵和滑阀泵，逐步实现低真空获取；中期油扩散泵和罗茨泵突破高真空瓶颈，为电子工业和核物理研究奠定基础，技术演进围绕真空度提升与稳定性优化展开。

机械真空泵

机械真空泵是利用机械运动将气体压缩并排出的真空获得设备，通过转子和活塞等部件的周期性运动改变泵腔容积，实现气体从进气口吸入和经压缩后从排气口排出，从而降低系统压力，获得真空。

其工作原理基于容积变化与气体压缩，当泵腔容积增大时形成负压吸入气体，容积减小则气体被压缩至超过大气压后排出，通过连续的吸气和排气过程，不断将容器内气体分子泵出，达到真空环境。

机械真空泵按结构可分为旋片式和滑阀式和往复式等，其中旋片泵依靠转子带动旋片分割腔体实现气体输送，滑阀泵通过滑阀运动改变腔体容积，不同类型在抽速和极限真空和适用介质上各有特点，满足多样化真空需求。

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旋片式真空泵的定子通常为圆柱形空腔，内部镶嵌高强度钢制定子线,转子在定子内做偏心旋转，两者之间的精密间隙形成密封工作腔，定子材料多采用铸铁以承受内部负压和振动，确保腔体气密性长期稳定。

旋片式真空泵的定子通常为圆柱形空腔，内部镶嵌高强度钢制定子线,转子在定子内做偏心旋转，两者之间的精密间隙形成密封工作腔，定子材料多采用铸铁以承受内部负压和振动，确保腔体气密性长期稳定。

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滑阀式真空泵的泵体通常采用高强度铸铁材料，内部设有精确加工的气缸腔和滑阀导轨，滑阀组件由柱形滑阀