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URE-2000 35型紫外光刻机技术参数说明书.pdf

URE-2000 35型紫外光刻机技术参数说明书.pdf

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    附件1：URE-2000/35型紫外光刻机技术参数

    1．技术参数

    ⚫曝光面积：4英寸

    ⚫曝光波长：365nm

    ⚫分辨力：0.8-1m

    ⚫对准精度：0.8m

    ⚫掩模样片整体运动范围：X：优于15mm;Y:优于15mm

    ⚫掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸（标准配置，其他尺寸可定做）

    ⚫样片尺寸：直径10mm--100mm或者15mm15mm-100mm100mm(标准配置，其他尺寸

    可定做），可适应厚度为0.1mm--5mm(最大可扩展为15mm)

    ⚫曝光方式：定时（倒计时方式）

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