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SFD-28油扩散泵性能的研究

一、引言

（一）油扩散泵的应用价值与研究背景

在现代工业与科研领域，真空技术占据着举足轻重的地位，作为获取高真空的关键设备，油扩散泵凭借其独特优势，在众多行业中发挥着不可替代的作用。它广泛应用于电子、冶金、原子能等工业部门以及空间技术等科学研究领域。在电子行业，半导体芯片制造过程中，需要在高真空环境下进行薄膜沉积、刻蚀等工艺，油扩散泵能够提供稳定的高真空条件，确保芯片制造的精度和质量；在冶金工业中，真空冶炼、真空镀膜等工艺也离不开油扩散泵，它可以有效去除金属中的杂质，提高金属材料的性能；在原子能领域，核反应堆的研究和运行需要高真空环境来保障核反应的稳定性和安全性，油扩散泵为其提供了必要的真空支持；在空间技术领域，卫星零部件的制造、太空环境模拟试验等都依赖于油扩散泵来模拟太空的高真空环境，为航天器的研发和测试提供保障。

油扩散泵之所以备受青睐，是因为它具有诸多优点。其结构相对简单，内部没有复杂的机械转动部件，这使得它在运行过程中无振动、无噪音，减少了设备的磨损和故障发生率，同时也降低了维护成本。而且，它操作方便，能反复循环使用，使用寿命长，这些特点使得油扩散泵成为高真空获得设备中的首选之一。然而，不可忽视的是，国内扩散泵产品在性能上与国外同类先进产品存在较大差距。在抽速方面，国外先进的油扩散泵能够在更短的时间内达到所需的真空度，大大提高了生产效率；在返油率上，国内产品的返油问题较为严重，这不仅会污染被抽系统，影响产品质量，还可能导致设备故障，增加维护成本。因此，提升国内油扩散泵的性能，缩小与国际先进水平的差距，成为当务之急。SFD-28型油扩散泵作为国内具有代表性的产品，对其性能进行深入研究和优化，具有重要的工程实践意义，有望为国内油扩散泵行业的发展提供有益的借鉴和参考。

（二）SFD-28油扩散泵的技术定位与研究目标

SFD-28型油扩散泵属于直腔矮型扩散泵，这种结构设计使其在空间占用上具有一定优势，更适合一些对设备体积有严格要求的应用场景。然而，其独特的结构也对性能提升带来了挑战。为了充分发挥SFD-28型油扩散泵的优势，弥补其性能短板，本次研究确定了明确的目标。

提升抽速是关键目标之一。抽速的提高意味着能够更快地达到所需的真空度，从而提高生产效率，降低生产成本。在实际应用中，如半导体制造过程中的真空镀膜环节，更快的抽速可以使镀膜过程更加高效，减少生产周期，提高产品产量。通过对泵的内部结构进行优化设计，如调整喷嘴的尺寸和形状、优化泵芯各级间距等，可以改善气体的流动特性，提高抽气效率，进而提升抽速。

降低返油率同样至关重要。返油问题一直是困扰油扩散泵性能的难题，高返油率会对被抽系统造成污染，影响产品质量。在精密电子器件制造中，即使微量的返油也可能导致电子器件的性能下降甚至失效。为了降低返油率，需要从多个方面入手，如改进泵的密封结构，减少油蒸汽的泄漏；优化泵的加热和冷却系统，使油蒸汽能够更充分地冷凝回流，减少返流现象；合理设计泵口的障板和挡油帽，阻挡油分子向被抽容器中返流。

除了提升抽速和降低返油率，本次研究还致力于通过理论分析、结构改进及测试验证等一系列手段，推动SFD-28型油扩散泵的性能达到国际领先水平。在理论分析方面，深入研究油扩散泵的抽气机理和返油原因，为结构改进提供坚实的理论基础；在结构改进过程中，采用先进的设计理念和制造工艺，对泵的各个部件进行优化设计；通过严格的测试验证，确保改进后的泵性能稳定可靠，达到甚至超越国际同类产品的性能指标。

为了提高行业研发效率，本次研究还将开发配套设计软件。传统的扩散泵设计计算主要依靠手工计算，过程繁琐且容易产生误差，这不仅耗费大量的时间和精力，还可能影响设计的准确性。而开发的配套设计软件，将利用计算机的强大计算能力和高效的数据处理能力，实现扩散泵设计计算的自动化和智能化。设计人员只需输入相关参数，软件即可快速准确地完成设计计算，生成详细的设计方案，大大缩短了产品开发周期，提高了设计效率，为生产企业的产品改进和新产品开发提供有力的技术支持。

二、SFD-28油扩散泵工作原理与结构特性

二、SFD-28油扩散泵工作原理与结构特性

（一）核心工作机理解析

SFD-28油扩散泵的工作基于高速油蒸气流的动量传递效应，这是其实现高真空抽取的关键所在。在泵的运行过程中，位于底部的油锅中的泵油被加热至沸腾温度，约200℃，产生大量的油蒸气。这些油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出，形成超音速射流。

泵内设置了三级喷嘴系统，这一系统是实现高效抽气的核心部件。当油蒸汽从一级伞形喷嘴以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。由于射流上边的被抽气体与蒸汽射流之间存在密度差，被抽气体分子会因密度差而向蒸汽射流中扩散