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宏微驱动控制：高精密数控车床的精度革新与应用拓展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，超精密加工技术扮演着愈发关键的角色，其应用范围涵盖了航空航天、电子信息、光学仪器等众多高科技领域。随着科技的迅猛发展，这些领域对零部件的精度和表面质量提出了近乎严苛的要求，尺寸精度需优于0.1微米（100纳米），表面粗糙度小于10纳米，这对加工机床的精度提出了极高的挑战。例如，在航空航天领域，发动机叶片的加工精度直接影响发动机的性能和效率；在电子信息领域，芯片制造需要控制原子层级的误差。

机床进给系统作为影响机床整机性能的关键因素之一，其精度在很大程度上决定了加工零件的质量。传统的单