表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南.pdfVIP

国家标准

表面化学分析射线光电子能谱分析指

X

南

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Guidelinesforanalysis

编制说明

（征求意见稿）

（修订GB/T30704-2014）

2024年8月

国家标准

表面化学分析X射线光电子能谱分析指南

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1.1任务来源

202410202447

年月收到国标委复审通知（国标委发【年】号文件），经表

面标委会组织专家复审，起草组确认本标准复审结论为修订。2024年12月提交

ISO1081020192025

了修订本标准项目建议书，计划等同采标：，修订本标准。

年8月6日国家标准化管理委员会下达修订计划任务（国标委发【2025年】43

号文件），任务计划编号为T-469，由中国科学院化学研究所等单位

负责起草，任务周期为12个月。

1.2制定背景及起草人分工情况

X射线光电子能谱（XPS）是一种重要的表面分析方法，可以提供材料表面

的元素组成及化学态等信息，广泛用于材料的定性与半定量分析。通过将所测芯

能级结合能与各元素的结合能表对照来识别样品中的元素种类（除H、He之外）。

对于元素化学态的判定，可以根据谱峰化学位移以及其它参数的变化来确定。元

素的定量信息则通过所测光电子峰的强度与元素相对灵敏度因子简化计算得到。

随着电子能谱相关技术的发展和新材料的不断涌现，有必要对现行国家标准中的

通用分析方法以及分析对象的种类进行改进和更新，一方面提高分析结果的准确

性和可靠性，为科学研究、先进制造、检验检测提供更先进的检测技术；另一方

面保持与国际相关标准的等效性和先进性，促进国际实验室间的技术交流与合作。

更重要的是通过修订后的新标准来指导表面科学领域和先进材料研究领域中的

方法应用与实践。现行国家标准GB/T30704《表面化学分析X射线光电子能谱

分析指南》，于2014年首次发布。此标准为XPS仪器使用者分析典型样品提供

了通用指导。2019年国际标准化组织（ISO）修订并发布了ISO10810：2019。

GB/T3070420258

为保持标准先进性，需要对现行国家标准进行修订。年月国

标委下达了修订计划任务书，由中国科学院化学研究所、中石化石油化工科学研

究院有限公司、国家纳米科学中心、中国计量科学研究院共同组建起草小组，承

担此修订任务。此次修订计划等同采用ISO10810：2019国际标准。

本起草工作组由赵志娟（中国科学院化学研究所）、邱丽美（中石化石油化

工科学研究院有限公司）、徐鹏（国家纳米科学中心）、王海（中国计量科学研

2

究院）、章小余（中国科学院化学研究所）、刘芬（中国科学院化学研究所）和

赵良仲（中国科学院化学研究所）共同组成。任务分工做了细致安排，其中赵志

娟老师负责ISO标准文本翻译，国家标准文本起草、修改、技术把关和组织协

调；邱丽美老师负责国家标准文本审核与修改；王海老师负责国家标准主要内容

技术把关；徐鹏老师负责标准文本审核与完善；刘芬老师和赵良仲老师负责国家

标准文本统筹技术把关；章小