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公司掩膜版制造工职业健康操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司所有从事掩膜版制造的员工。适用于掩膜版制造过程中的各项操作，包括但不限于原材料处理、制版、清洗、曝光、显影等环节。规程要求员工严格遵守安全操作规范，确保个人安全及生产安全，降低事故发生概率。员工应接受专业培训，熟悉并掌握各项操作规程。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用：

a.员工进入操作区域前，必须穿戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、防尘口罩、防护手套、防静电服装等。

b.防护眼镜应确保视野清晰，无损坏，佩戴时确保眼镜与脸部的贴合，以防止化学物质、飞溅物等对眼睛造成伤害。

c.防尘口罩需定期更换，确保过滤效果，避免吸入有害粉尘。

d.防护手套应选择适合手部操作的材质，如耐化学腐蚀、防静电等，确保手套完整无破损。

e.防静电服装应确保导电性能良好，减少静电的产生。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否完好，无异常磨损或损坏。

b.检查设备各个部件是否紧固，避免操作过程中松动。

c.检查电源线路是否完好，无裸露或损坏。

d.检查设备运行参数是否正常，如温度、湿度等。

e.进行设备模拟运行，观察设备是否运转正常，无异常噪音或震动。

3.作业区域的准备要求：

a.确保作业区域干净整洁，无杂物，避免影响操作。

b.检查作业区域通风情况，确保空气流通，降低有害气体浓度。

c.准备好必要的化学品和工具，并放置在易于取用的位置。

d.设置警示标志，提醒员工注意安全操作。

e.检查紧急停机按钮、消防器材等安全设施是否到位，确保在紧急情况下能迅速应对。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.启动设备前，确认所有操作人员已经穿戴好个人防护装备。

b.打开设备电源，按照设备操作手册逐步完成预热、自检等启动步骤。

c.设置设备参数，包括曝光时间、温度、湿度等，确保参数符合工艺要求。

d.将掩膜版放置于设备指定位置，确保其平整无皱褶。

e.启动曝光程序，监控设备运行状态，防止异常情况发生。

f.曝光完成后，按照工艺要求进行显影、定影等后续处理。

g.完成所有工艺步骤后，关闭设备电源，进行清洁和维护。

2.特殊工序的操作规范：

a.清洗工序：使用专门的清洗剂和工具，按照清洗剂的配比要求进行清洗，避免使用不当的化学品。

b.曝光工序：严格控制曝光时间和距离，确保掩膜版上的图形准确无误。

c.显影工序：根据显影剂的浓度和时间要求，控制显影过程，避免过度或不足显影。

3.异常工况的处理方法：

a.设备出现故障时，立即停止操作，断开电源，并报告给维修人员。

b.工艺参数异常时，立即停止操作，检查参数设置，根据需要调整至正确值。

c.发生化学品泄漏时，立即撤离操作区域，启动应急预案，使用适当的防护措施处理泄漏。

d.发现掩膜版存在缺陷时，停止操作，分析原因，采取相应的补救措施或重新制作掩膜版。

e.在处理任何异常情况时，确保所有人员的安全，避免二次伤害。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.温度：设备运行时，温度应保持在设备操作手册规定的范围内，过高或过低都可能影响设备性能和产品质量。

b.压力：对于需要维持一定压力的设备，如曝光机，压力应稳定在设定值，波动过大可能导致曝光不均匀。

c.速度：设备运行速度应与工艺要求相匹配，过快可能导致操作失误，过慢则影响生产效率。

d.噪音：设备运行时产生的噪音应在正常范围内，异常噪音可能是设备部件松动或磨损的信号。

e.电流和电压：设备运行时，电流和电压应稳定，波动过大可能导致设备保护性停机或损坏。

2.典型故障现象：

a.设备突然停机：可能是过载保护、紧急停机按钮被触发或电源故障。

b.设备运行不稳定：可能是设备部件松动、电路故障或传感器损坏。

c.产品质量下降：可能是设备参数设置错误、清洗不彻底或曝光不均匀。

d.设备部件磨损或损坏：可能是长时间运行未进行维护或操作不当。

3.状态监测的操作要求：

a.定期检查设备外观，观察是否有异常磨损或损坏迹象。

b.使用温度计、压力计等工具，定期监测设备运行参数。

c.监听设备运行声音，及时发现异常噪音。

d.记录设备运行数据，包括运行时间、故障记录等，以便分析设备状态和趋势。

e.在设备操作手册的基础上，制定详细的监测计划，确保每项参数都得到有效监控。

f.对于监测到的异常情况，应立即停止操作，分析原因，并采取相应措施进行处理。