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2023年第52卷第10期热加工工艺ISSN1001-3814

Vol.52No.102023HotWorkingCN61-1133/TG

gTechnology

引用格式：武帅政，张树玲，黄腾龙，等.厚类金刚石膜研究进展J].热加工工艺,2023,52（10)：14-19.

DOI:10.14158/i.Cnkl13814

DOl:10.14158/ki.1001-3814

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厚类金刚石膜研究进展

武帅政，张树玲1，黄腾龙1，郭栋，马兴华，丁文捷2

(1.青岛理工大学机械与汽车工程学院，山东青岛266520;2.宁夏大学机械工程学院，宁夏银川750001)

摘要：类金刚石膜是一种由sp3和sp²混合的亚稳态碳膜。因其良好的力学性能、较低的摩擦系数、优异的抗磨损

性能，在石油、航空航天、汽车零部件、医学和光学领域被广泛应用。但因类金刚石膜中存在大的内应力，类金刚石膜的

厚度受到限制，而在摩擦磨损过程中很易被损坏，极大限制了类金刚石膜在某些领域的应用。概述了类金刚石膜的组织

特点、主要制备方法。同时归纳了厚类金刚石膜的研究现状及降低DLC涂层内应力方面的研究进展，并对目前研究成

果中存在的问题进行了总结。

关键词：类金刚石膜；摩擦系数；抗磨损；制备方法；内应力

中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号：1001-3814(2023)10-0014-06

ResearchProgressofThickDiamond-likeCarbonCoating

WUShuaizheng,ZHANGShuling2,HUANGTenglong,

GUODong,MAXinghua,DINGWenjie?

(1.SchoolofMechanicalandAutomotiveEngineering,QingdaoUniversityofTechnology,Qingdao266520,China;2.School

ofMechanicalEngineering,NingxiaUniversity,Yinchuan750001,China)

Abstract:Diamond-likecarbon,DLCcoatingisakindofmetastablefilmmixedwithsp’andsp?².Becauseofitsexcellent

mechanicalproperties,lowfrictioncoefficient,superiorwearresistance,DLCcoatingsarewidelyusedinpetroleum,

aerospace,automotiveparts,medicineandopticalfields.DuetothelargeinteriorstressinDLCcoatings,thethicknessofthe

DLCcoatingislim