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碳化硅陶瓷膜研究国内外文献综述

碳化硅是目前仅能通过人工才能大量获得的一种无机材料，其不仅具有十分良好的物理化学性能，它还具有中等密度，高弹性模量，热导率高、化学稳定性等优点。它是各种高性能应用的理想选择及特殊环境中的先进耐火材料[5,6,也是用于制备高温、高频和大功率器件的优秀材料[7]。

碳化硅分子式为SiC,分子量40.07,是比较普遍的人工合成材料之一[8]。它是在电阻炉中的高温环境下用优质石英砂和石油焦制成的。碳化硅是一种在自然界中发现的相对困难的矿物。当前，我国所生产的工业碳化硅从颜色上分为黑色和绿色，这两种都是六方晶体结构，其比重在3