热阴极电离真空计分类.PPTVIP

工作用压缩真空计（简称座式真空计）是直接测量系统内真空度的仪器，它对真空度的测量是绝对测量，测量适用于低真空和高真空区域，测量的精度很高，可用作（1-10-3）Pa真空测量标准。麦氏计特点(1)刻度与气体种类无关，这是对永久性气体而言。

(2)测量范围较宽，测量精度比较高，一般相对误差在lO%左右。

(3)不能连续测量。每测量一次需升降水银一次，不能连续读数，操作费时。

(4)水银蒸气对人体有害。PM-2型组合式麦氏真空表热传导真空计：粗真空和低真空测量在一定的加热条件下，低压力下气体分子热传导与压力有关，相对真空计，须进行校准。以气体分子对热丝的冷却能力作为压力的指示。热丝的温度T1是压力p的函数。热丝温度的测量方法：?(1)利用热丝随温度变化的线膨胀性质(2)利用热电偶直接测量热丝的温度变化(3)利用热丝电阻随温度变化的性质?膨胀式真空计热偶真空计电阻真空计（热敏电阻真空计）（相对真空计）气体种类的影响：热传导真空计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。因此，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即

???Preal=S×Pread

式中????Pread——以干燥空气(或氮气)刻度的压力计读数，Pa

????????Preal——被测气体的实际压力，Pa

????????S——被测气体对空气的相对灵敏度。热传导规对一些气体与蒸汽的相对灵敏度气体或蒸气S气体或蒸气S空气1一氧化碳0.97氢0.67二氧化碳0.94氮1.12二氧化硫0.77氖1.31甲烷0.61氩1.56乙烯0.86氮2.30乙炔0.60ZJ-51型热偶真空规管测量范围：65～0.1Pa热阴极电离真空计工作原理：电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n，在一定温度下正比于气体的压力p。因此，可根据离子电流的大小指示真空度。由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计。热阴极电离真空计由测量规管和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。规管功能是把非电量的气体压力转换成电量——离子电流。ZJ-27型宽量程热阴极电离规测量范围：4～1.0×10-5PaZDR-27B电离真空计

测量范围:101～10-5Pa电离真空计规管规管的基本结构主要包括三个电极：(1)提供一定数量电子流Ie的灯丝F(阴极)(2)产生电子加速场并收集电子流的阳极A(亦称电子加速极)；(3)收集离子流Ii的离子收集极C(相对阴极为负电位)使用注意：

测量上限（K值变化）

测量下限（本底电流）热阴极电离真空计分类：

(1)普通型电离真空计(1×10-1～l0-5Pa)；

(2)超高真空电离真空计(1×10-1～l0-8Pa，有的下限为10-10Pa)；

(3)高压力电离真空计(102～10-3Pa)。离子流Ii与气体压力p的关系：

????Ii=K×Ie×p???????????式中Ie——发射电子流

????????K——规管系数，单位为Pa-1传统型电离规相对灵敏度气体对N2相对灵敏度Sr气体对N2相对灵敏度SrH20.46CO21.53He0.17干燥空气1.0Ne0.25H2O0.9Ar1.31Hg3.4Kr1.98CO1.11Xe2.71HCl0.38N21.0CH41.26O20.95CCl40.70不同气体电离截面不同，所以电离规管系数K与气体种类有关，引入相对灵敏度Sr概念，Sr=K／KN2真实压力:????preal=pread/Sr?????冷阴极电离真空计冷阴极电离真空计是靠冷发射(场致发射、光电发射、气体被宇宙射线电离等)所产生的少量初始自由电子，电子碰撞气体分子，有一部分为电离碰撞，电离后形成的正离子在阴极上打出的二次电子。电离过程连锁