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OTFC-1550规格例
设备名称OTFC-1550C/D
真空室SUS304,φ1550×1800mm(H)
工件架φ1400mm
工件架转速5rpmto50rpm(可変)
Hom2-R-VIS350A型光学控制
光学膜厚控制波长范围：350nmto
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