弧电流对多弧离子镀TiN涂层形貌及力学性能的影响.pdfVIP

《热加工工艺》2016年7月第45卷第14期

弧电流对多弧离子镀TiN涂层形貌

及力学性能的影响

陈昌浩，金永中，陈建，龙国俊，余学金，蔡瑜

(四川理工学院材料与化学工程学院，四川自贡643000)

摘要：采用多弧离子镀膜技术在硬质合金基体表面沉积TiN涂层，研究了6O～140A弧电流对T涂层的表面

形貌和力学性能的影响。使用扫描电子显微镜、扫描探针显微镜对涂层的形貌进行观察，使用自动划痕仪、纳米压痕仪

对涂层的力学性能进行检测。研究结果表明：随着弧电流的增加，涂层的沉积速率呈现非线性增长，涂层组织中的晶粒

逐渐长大并聚集。弧电流在120～140A时，涂层的组织由球形晶粒向平板状晶粒转变。随着弧电流的增加，附着力呈

先增大后减小趋势，附着力在80A时最大，为123．3N；显微硬度呈增大趋势，但在60～100A时硬度增加较小，超过

100A，硬度显著提高，140A时最大，为3051HV。

关键词：多弧离子镀；TiN涂层；弧电流；表面形貌；力学性能

DOI：10．141580．cnki．1001-3814．2016．14．033

中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号2016)14．O117。03

EffectsofArcCurrentonMorphologyandMechanicalPropertiesofTiNCoating

DepositedbyMulti-arcIonPlating

CHENChanghao，JINYongzhong，LONGGuojun，YuXuejin，CAIYu

(DepartmentofMaterialandChemicalEngineering，SichunaUniversi哆ofSciencenadEngineering，Zigong643000，China)

Abstract：TiNcoatingwasdepositedonthesurfaceofcementedcarbidesubstratebymulti—arcionplating．Effectsofarc

currentfrom60Ato140AonsurfacemorphologyandmechnaicalpropertiesofTNicoatingwerestudied．Scanningprobe

microscopeandscanningelectronmicroscopewereusedtoobservemorphologyofTiNcoating．Scratchspecrtometerand

nnaoindenterwereusedtotestmechanicalpropertiesofTiNcoating．TheresultsshowthatthedepositionrateofTiNcoating

nicreasesnonlinearlywihttheincreaseofarccurrentandhteglobular-likeganisofTiNcoatinggrowgraduallynadgether．

WhenhteraCcurrentisinhterangeof120to140A，themicrostructureofcoatnigisrtnasformedfromsphericalgrainstoflat

grains．WihthteincreaseofraCcurrent，theadhesivesrtengthofcoatnigincreasesfirstly，htendecreases，htemaximumvalue

is123．3Nwhenthearccurrentis80A；nadthemicro-hradnessincreases，butinhternageof60to100A，theharndess

increasesslightly，over100