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等离子蚀刻过程的光谱图像采集装置及信号处理方法.pdfVIP

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  • 2025-12-02 发布于广东
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等离子蚀刻过程的光谱图像采集装置及信号处理方法.pdf

    浙江大学研究生毕业论文

    ABSTRACT

    Inthissetofdevicesand

    paper,aspectralimageacquisitionsignalprocessing

    methodsareordertoobservethe

    duringplasmaetchingproposed．Inplasmaprocessing

    inthemicroofthetunable

    manufacturingprocess，thesweepfrequencyacousto-optic

    filterAOTFisusedtoobtaintheatacombined

    spectrumspecificwavelength，which

    wi

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