1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

《锗烷、乙硼烷和磷烷生产尾气排放技术规范》编制说明.pdf

《锗烷、乙硼烷和磷烷生产尾气排放技术规范》编制说明.pdf

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    福建省质量检验协会团体标准

    《锗烷、乙硼烷和磷烷生产尾气排放技术规范》标准编制说明

    1标准工作简况

    1.1编制背景

    锗烷、乙硼烷和磷烷是电子工业领域不可或缺的特种气体，广泛应用于半导

    体制造、光伏电池生产和平板显示器等高端制造工艺中。这些氢化物气体具有剧

    毒性、自燃性和易爆性，对人体健康和环境安全构成严重威胁。随着我国电子工

    业的迅猛发展，这些特种气体的使用量逐年增加，其生产过程中的尾气排放管理

    变得尤为重要。

    当前，我国关于电子工业废气处理已有《电子工业废气处理工程设计标准》

    （GB514

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    ***** + 关注
    实名认证
    内容提供者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：8135026137000003

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >