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基于先进算法与技术的光学表面形貌提取及气囊抛光路径对中频误差的控制研究
一、引言
1.1研究背景与意义
1.1.1研究背景
在现代科技飞速发展的今天,光学元件作为众多领域的核心部件,发挥着举足轻重的作用。从天文观测领域的大型望远镜,到医疗设备中的精密成像系统;从通信领域的光纤传输,到半导体制造中的光刻技术,光学元件无处不在。这些应用对光学元件的精度提出了极高的要求,其表面形貌的微小偏差都可能导致光学系统性能的显著下降。
光学表面形貌直接影响光学元件的光学性能。在高功率激光系统中,若光学表面存在不平整或缺陷,激光在传输过程中会发生散射和衍射,导致光束质量下降,能量分布不均匀,甚至可能引发元
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