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HotWorkingTechnology2016，Vo1．45，No．16

利用纳米压痕法研究单晶锗的力学行为

杨晓京，赵彪，李勇，李明

(昆明理工大学机电工程学院，云南昆明650500)

摘要：利用纳米压痕仪和原子力显微镜对单晶锗(1oo)晶面进行纳米压痕试验。通过载荷一压深曲线和弹性回复

率的变化情况对材料的变形机理以及硬度和弹性模量进行研究。结果表明：单晶锗(100)晶面在不同的压入深度下分别

经历了弹性变形、塑性变形和脆性断裂；载荷一压深曲线中出现明显的突进和突退现象，该现象与材料的内部结构发生

相变密切相关；单晶锗(100)fi~面存在明显的压痕尺寸效应。该材料弹性模量的变化趋势与硬度相一致。

关键词：单晶锗；纳米压痕；相变；硬度；弹性模量

DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2016．16．021

中图分类号：TG113．25文献标识码：A文章编号：1001．3814(2016)16．0080．04

ResearchonMechanicalBehaviorofSingleCrystalGermaniBin

UsingNanoindentationTechnique

YANGXiaojing，ZHAOBiao，LIYong，LIMing

(FacultyofMechanicalandElectricalEngineering，KunmingUniversiytofSciencenadTechnology，Kunming650500，Chnia)

Abstract：ThennaoindentationexperimentWaScarriedonthecrystalplnae(100)ofsinglecrystalgermaniumby

nnao·nidemernadatomicforcemicroscope．Byhteload-nidentationdepthcurvesnadhtechangesofelasticrecovery

percentage，thedeformationmechnaisms，hardnessnadelasticmodulusofthematerialswerestudied．Theresultsshowhtathte

crysatlplane(100)ofthesinglecrysatlgermaniumunderdifferentnidenattiondepthexperienceselaSticdeformation，plaStic

deformationnadbrittlefracture．Thepop—innadpop-outphenomenaappea1．i1lhteload-nidenattiondephtcurves．whichis

closelyrelatedtohtephaSetransformationinhteinternalstructureofhtesinglecrysatlgermanium．AndhtereraeOb、ri0us

nidenattionsizeeffectsexistnigonhtecrysatlplnae(100)ofhtesinglecrystalgemrnaium．Thechangetendencyofelastic

modulusofhtematerialisconsistentWihthtatofhradnessvalue．

Keywords：singlecrysatlgemrnaimu；nnao—indenattion；phasetransfomration；harndess；elasticmodulus

晶体锗的电子迁移率比硅高，强度比硅好，被广压力分别为10--~1lG_Pa网和1112GPa[习时，将从金

泛应用于红外光学、高频电子、航空、航天等领域t”。刚石立方相Ge．I和Si．I结构转变到金相Ge．II和

而