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《热加工工艺》2018年3月第47卷第6期
铝表面磁控溅射沉积ZrN薄膜色度的研究
张成杰，王会强，马召磊，杨字恒，吴奕然
(河北农业大学机电工程学院，河北保定071001)
摘要：使用磁控溅射技术，在铝外表沉积ZrN薄膜，研究了磁控溅射时间和氮气流量对ZrN薄膜色度的影响。结
果表明：随着磁控溅射时间的增长，薄膜的亮度在减少，b值(黄蓝值)在3min时出现了最大值，说明镀膜时间在3
min时最接近黄色，值(红绿值)波动比较大。对比仿金膜的、、6值(CIE1976L、、6系统已为世界各国正式采
纳，作为国际通用的测色标准，它适用于一切光源或物体色的表示与计算)，在3min左有时，薄膜颜色最接近金黄色；
而氮气流量在13～l8sccm内，薄膜颜色呈金黄色。因此对于铝的溅射参数为：溅射时间3min，氮气流量15sccm。
关键词：磁控溅射；ZrN薄膜；色度；氮气流量；溅射时问
DoI：10．141580．cnki．1001-3814．2018．06．037
中图分类号：TG178．2文献标识码：A文章编号：1001-3814(2018)06—0159-02
StudyOilChrominance0置zFilmsDepositedbyMagnetronSputtering
onAluminumSurface
ZHANGChengjie，wANGHuiqiang，MAZhaolei，YANGYuheng，wuYiran
(CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，HebeiAgriculturalUniversity，Baoding071001，China)
Abstract：TheeffectsofmagnetronsputteringtimeandnirtogenflowrateonthechromaticiytofZrNfilmswerestudied
bydepositingZrNfilmsonthesurfaceofaluminumusingmagnetronspuReringtechnology．Theresultsshowthat．wimhte
increaseofmagnetronsputteringtime，thebrighmessLofthefilmdecreases，thevalueofb(yellow·bluevalue)reachesthe
maximumat3min，whichindicatethatwhenthecoatingtimeis3rain，thefilmcoloristheclosesttoyellow，andtheflucutation
ofthevalueofa(red-rgeenvalue)isrelativelylarge．ComparedwiththeL，a，bvaluesofcopygoldfilm(theCIE1976L，
，bsystemhasbeenformallyadoptedbyallcountriesworldwide．Asaninternationalstandardforcolormeasurement，itis
applicabletotherepresentationandcalculationofalllightorobjectcolors)，underspuRefingtimeof3min，thefilmcoloris
theclosesttogoldenyellow．Whilethenirtogenflowrateiswithintherangeof13—18sccm，thecolorofthefilmisgolden
yellow．Therefore，thesputteringparametersofrthealuminumaresputteringtime：3min，nirto
我的文档主要集中的行业是石油化工和安全生产，从事石油化工行业并且取得了中级注册安全工程资格。精通炼油工艺方面的工艺、安全、设备。希望通过平台共享自己的知识和经验。
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