公司电子真空镀膜工岗位安全操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

公司电子真空镀膜工岗位安全操作规程

文件名称：公司电子真空镀膜工岗位安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司电子真空镀膜工岗位的操作人员。规程旨在确保操作人员在工作过程中的人身安全和设备设施的安全运行。操作人员必须严格遵守本规程，确保生产任务的顺利完成。规程包括但不限于设备操作、安全防护、紧急处理等内容，旨在提高安全意识，预防事故发生。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入工作区域前，必须穿戴防护眼镜、防静电手套、防尘口罩等个人防护用品，以保护眼睛和呼吸道免受污染和伤害。女性操作人员应佩戴安全帽，长发需束起，不得散放。

2.设备状态检查要点：

（1）检查设备电源开关、控制按钮是否正常，有无损坏；

（2）检查设备各部分是否牢固，有无松动；

（3）检查真空系统是否完好，确保真空度达到工作要求；

（4）检查加热系统、冷却系统是否正常运行，温控精度是否符合要求；

（5）检查镀膜腔体及附件是否有异物，表面清洁度是否达标；

（6）检查气体供应系统，确保气体纯度和压力符合镀膜要求。

3.作业环境基本要求：

（1）作业区域保持整洁，无积水、油污；

（2）确保工作场所通风良好，无有害气体；

（3）地面铺设防滑材料，防止滑倒事故；

（4）设置警示标志，明确危险区域和注意事项；

（5）配备消防器材，确保消防设施完好有效。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作流程步骤：

（1）启动设备前，先进行设备自检，确认一切正常；

（2）穿戴好个人防护用品，进入工作区域；

（3）开启真空泵，逐渐抽真空至规定压力；

（4）根据镀膜工艺要求，调节加热温度和气体流量；

（5）将待镀膜材料放置于镀膜腔体内，确保其固定牢靠；

（6）启动镀膜设备，开始镀膜过程；

（7）镀膜结束后，关闭加热器和气体供应；

（8）逐渐释放真空，取出镀膜材料；

（9）清洁设备表面和操作区域；

（10）关闭设备，记录操作数据。

2.特定操作技术规范：

（1）加热过程中，应严格按照温度曲线进行控制，避免温度波动过大；

（2）气体流量需稳定，不得出现突增或突减；

（3）镀膜材料放置需平整，避免重叠或倾斜；

（4）操作过程中，密切观察设备运行状态，确保设备运行正常。

3.异常情况处理程序：

（1）若发现设备故障，立即停止操作，隔离故障区域；

（2）报告上级管理人员，根据故障情况制定解决方案；

（3）在故障排除前，禁止无关人员进入作业区域；

（4）故障排除后，进行试运行，确认设备恢复正常；

（5）对操作人员进行事故原因分析，防止类似事故再次发生。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

（1）设备运行平稳，无异常振动；

（2）真空度达到设定值，波动范围在规定范围内；

（3）加热温度稳定，符合工艺要求；

（4）气体流量稳定，无泄漏现象；

（5）设备各部分运行无异常噪音；

（6）控制系统显示正常，无报警信息。

2.常见故障现象：

（1）真空度不足或波动过大；

（2）加热温度不稳定或过高；

（3）气体流量异常或泄漏；

（4）设备振动加剧或噪音增大；

（5）控制系统显示异常或报警。

3.状态监控方法：

（1）定期检查设备各部分，观察是否有异常现象；

（2）使用真空计、温度计、流量计等仪器实时监测设备状态；

（3）通过控制系统显示屏观察设备运行参数；

（4）记录设备运行数据，分析异常情况；

（5）定期进行设备维护保养，确保设备处于良好状态。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

（1）检查真空度是否符合工艺要求，确保真空泵运行正常；

（2）监测加热温度是否稳定，与设定值一致；

（3）检查气体流量是否恒定，无异常波动；

（4）观察镀膜层质量，如厚度、均匀性等；

（5）检测设备各运动部件的运行是否顺畅；

（6）监控控制系统的工作状态，确保无故障报警。

2.调整方法：

（1）根据测试结果，调整真空泵工作参数，优化真空度；

（2）通过调整加热功率，使温度稳定在设定范围内；

（3）通过调节气体控制阀，保持气体流量稳定；

（4）必要时，对镀膜材料进行位置调整，确保镀膜均匀；

（5）润滑运动部件，减少摩擦和噪音；

（6）对控制系统进行校准，确保参数显示准确。

3.不同工况下的处理方案：

（1）若出现真空度不足，检查真空泵和系统密封性，必要时更换密封件；

（2）若加热温度不稳定，检查加热元件和温控系统，排除故障；

（3）若气体流量异常，检查气体源和流量计，确保气体供应和计量准确；

（4）若镀膜层质量不达标，检查镀膜工艺参数，调整工艺流程；

（5）若设备振动加剧，检查固定装置，加固或调整设备位置