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晶圆厂洁净室合同

一、合同主体

（一）合同双方

本合同由以下双方签订：甲方：（公司名称）____________________，法定代表人：张某，地址：____________________；乙方：（公司名称）____________________，法定代表人：李某，地址：____________________。双方经协商一致签订本协议，甲方作为晶圆厂所有者，负责提供厂区和基础设施需求；乙方作为洁净室服务提供商，承担设计、建设和维护洁净室的义务。甲方为行业资深的半导体制造商，拥有多年的晶圆制造经验；乙方专注于洁净室工程技术服务，具备相关资质证书，致力于保障洁净室满足国际标准。

（二）合同背景和目的

本合同基于双方合作维护晶圆生产环境的共同目标设立。背景为甲方晶圆厂需提升洁净度等级以适配新代晶圆生产需求，具体目的包括设计符合ISO标准的高等级洁净室、确保生产过程中空气质量达标、防止微粒污染影响晶圆成品率，最终保障甲方生产设备高效运行和产品质量稳定。本协议适用期为合同签署之日起至约定终止时间，时间框架描述为项目启动后合理期间内完成建设并进入维护阶段。合同范围覆盖洁净室的规划、设计、施工、调试和后续定期维护服务。

二、合同内容

（一）服务范围

乙方服务包括洁净室的整体规划、设计定制化方案、材料采购、安装施工、设备调试以及长期维护管理。设计依据甲方提供的晶圆生产环境需求，涉及洁净室物理布局、空气过滤系统设计、压力控制装置等关键元素。施工阶段涵盖洁净室主体建设、辅助设备安装和系统测试验收；维护服务包含每周巡检、季度深度清洁、过滤器更换以及年度系统校准。服务地点为甲方晶圆厂内具体区域，地址描述参照附件所示蓝图，时间描述为乙方在xx个月内完成施工，后续维护持续约定期间内。乙方承诺使用符合国际规范的环保材料，确保工程过程遵循安全法规。

（二）洁净室标准和质量要求

洁净室需达到ISOClass5标准，对应晶圆制造环境的微粒控制等级要求如下：空气微粒数量控制在每立方米不超过特定阈值、温湿度维持在指定范围区间、噪声分贝符合行业安全限值。质量参数包括净化效率不低于百分之九十九点九、系统运行稳定性保障全年无故障期占比超过规定水平。甲方有权进行定期质量抽查，乙方提交完整测试报告和使用手册支持验证。如有调整需求，双方通过书面协商确认后执行变更管理协议。

三、责任与义务

（一）甲方的责任

甲方负责提供建设区域场地、基础水电供应接口和必要的生产数据支持，包括晶圆设备运行日志和维护记录。甲方需确保场地无障碍、按时支付费用、并配合乙方施工安全措施执行。保密义务要求甲方不得泄露乙方提供的技术设计文档和核心参数给第三方非关联方。

（二）乙方的责任

乙方承担洁净室工程的全程实施责任，确保人员持有专业认证上岗、施工过程无安全隐患、交付成果符合合同标准。质量保证义务包括提供初始免费调试服务和后续响应式维护，如系统故障需在约定时间小时内响应修复。保密义务涵盖甲方生产数据和厂区布局信息，乙方不得用于外部目的。

（三）共同义务

双方共同遵守环境保护法规、安全生产规范和知识产权保护条款。合作期间需定期进行沟通会议、记录关键决策并签署备忘录确保过程透明。意外事件处理如施工中断，双方共享风险责任并通过协商机制寻求解决方案。

四、费用与支付

合同总费用描述为乙方服务报价，具体金额以附件约定为准。支付方式分期执行：首付比例为合同签署后三十天内百分之三十、中期支付基于工程进度报告后十五天内百分之五十、尾款在验收合格后三十天内百分之二十。付款路径通过银行转账至乙方指定账户号码保密处理，甲方需提供支付凭证支持追踪。费用调整涉及材料成本异常波动时，须双方书面同意后修正支付协议。

五、违约责任

任一方未能履行合同义务构成违约，违约方需赔偿守约方直接损失具体金额参考实际损害评估。违约处理包括通知整改期约定合理天数内修正，逾期未改正则合同终止并启动赔偿机制。赔偿上限描述为合同总金额百分之一百五十或依据行业通例确定。

六、争议解决方法

发生争议时，双方优先通过友好协商机制在约定合理时间段内解决。协商不成时，提交至有资质的仲裁机构进行最终裁决，仲裁地点基于约定仲裁中心地址保密处理。法律适用依据中华人民共和国相关法律法规执行。

七、合同生效与终止

合同自双方签署之日起生效，时间描述为签署完成日视为起点。终止情形包括自然期满即项目维护期结束后自动终止、双方协商解除、不可抗力事件如自然灾害导致协议无法执行、或严重违约未修复。终止流程需书面通知对方并完成遗留事务处理，如费用清算和物品归还。合同变更需双方书面签字确认生效。

八、其他条款

不可抗力定义涵盖自然灾害、社会事件等不可预见因素影响合同执行，发生时双方暂停义务待影响消除后恢复。知识产权权利归属描述为洁净室设计方案和成果归乙方所有，使用许可授予甲方非