2025《三坐标测量仪发展研究的国内外文献综述》3200字.docx

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2025-12-11 发布于湖北
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三坐标测量仪发展研究的国内外文献综述

1.1国外研究现状

日本三丰（Mitutoyo）开发了一款“LEGEX系列三坐标测量仪”（如图1.1），该设备能够达到超高的性能要求，科学利用高强度导轨上固定桥式结构与气浮轴承的功能，确保工作过程的稳定性和最终结果的精度[4]。设备的检测装置中所使用的超高精度玻璃光栅尺，能够排除许多测量过程中可能导致测量误差的因素和极大限度降低影响[5]。该装置为了能够测量较为复杂的、尺寸精度较高的中、小型工件，提供了繁多的测量头选择，比如：接触触发式测头、激光扫描测头、视像测量测头等[6]。由于该仪器设备多种测量头选件的运用使测量方式更加多样化，精密