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《热加工工艺》2015年4月第44卷第8期

退火升温速率对氧化铝涂层性能的影响研究

唐秀凤，罗发，周万城，朱冬梅

(西北工业大学凝固技术国家重点实验室，陕西西安710072)

摘要：采用直流反应磁控溅射的方法将1Ixm厚的氧化铝涂层沉积于K424镍基高温合金基底上。为了减少涂层

缺陷，优化涂层性能，本文以不同的升温速率对制备得到的氧化铝涂层进行500C保温1h的退火处理．并通过XRD、

SEM等研究了退火升温速率对氧化铝涂层微观结构，表面形貌以及显微硬度的影响。结果表明：经800℃保温1h进

一步的高温热处理之后，．Al20，结晶首先在以25*C／rain升温速率退火后的试样中发现，并且以25*Cr／nin升温速率退

火后的试样拥有最致密的表面形貌。

关键词：氧化铝涂层；直流反应磁控溅射；退火升温速率；表面处理

DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2015．08．046

中图分类号：TG156．2文献标识码：A文章编号：1001．3814(2015)08—0161．03

EffectsofAnnealingHeatingRateonPropertiesofAluminumOxideCoating

TANGXiufeng，LUOFa，ZHOUWancheng，ZHUDongmei

(StateKeyLaboratoryofSolidificationProcessing，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’all710072，China)

Abstract：1maluminumoxidecoatingsweredepositedonK424Nisuperalloysubstmtesbydirectcurrentreactive

magnetronsputtering．Annealingheatingrteatmen~werecarriedoutontheas—depositedalumnimuoxidecoatingsat500℃

forlhnidependenceofdifferentannealnigheatingrates，niordertoreducethedefectsandoptimizehtepropertiesofhte

coatnigs．Effectsoftheannealnigheatnigratesonhtemicrostructure，surfacemorphologyandmicrohardnessofthealuminmu

oxidecoatingswerestudiedbyXRDandSEM．Theresultsshowthatdistnict_y-A1203crystallizationisfirstobservednithe

caseof25~C／mni，whenhteseannealedsamplesarefurtherheatedat800℃for1h．Also，hte25C／min·annealedsmaple

possessesthemostimpactsurfacemorphology

Keywords：almunimuoxidecoatings；directcurrentmagnetronsputtering；annealnigheatingrate；surfacetreatment

氧化铝涂层具有很多优良的物理化学性能，如光硬度的影响。因此。本文首先采用直流反应磁控溅射

学性能好、机械强度与硬度高[1]，透明性与绝缘性好和的方法在镍基高温合金基底上制备得到氧化铝涂层，

具有很高的耐磨、抗腐蚀和抗氧化性等。因而在材料、以期作为高温抗氧化保护层。并以不同的升温速率对

机械、微电子和光学等领域有着非常广泛的应用2[-41。其进行退火处理，观察升温速率对氧化铝涂层微观结

磁控溅射法是一种常用的氧化铝涂层制备方法，通过构以