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2025 年大学微机电系统工程（微机电技术）下学期期末测试卷.docVIP

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  • 2025-12-10 发布于天津
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2025 年大学微机电系统工程（微机电技术）下学期期末测试卷.doc

    2025年大学微机电系统工程（微机电技术）下学期期末测试卷

    （考试时间：90分钟满分100分）班级______姓名______

    一、单项选择题（总共10题，每题3分，每题只有一个正确答案，请将正确答案填在括号内）

    1.微机电系统中，以下哪种材料常用于制造微传感器的敏感元件？（）

    A.金属材料

    B.陶瓷材料

    C.半导体材料

    D.高分子材料

    2.微机电系统的制造工艺中，光刻技术主要用于（）。

    A.图形转移

    B.材料沉积

    C.材料刻蚀

    D.封装

    3.微机电系统中的微机械结构，其尺寸一般在（）。

    A.毫米级

    B.微米级

    C.纳米级

    D.

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