GB_T 41328-2022 电子级超纯水中痕量金属元素的测定 电感耦合等离子体质谱法.docxVIP

GB/T41328-2022电子级超纯水中痕量金属元素的测定电感耦合等离子体质谱法

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件由全国半导体材料和设备标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：中国电子工程设计院有限公司、上海计量测试技术研究院、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、国内头部第三方半导体水质检测实验室、12英寸晶圆制造工厂公用工程检测中心。

本文件主要起草人：（略）

发布日期：2022年03月09日

实施日期：2022年10月01日

编制说明：电子级超纯水是集成电路、第三代半导体、平板显示、光伏电子制造核心工艺介质，水中痕量金属离子（钠、铁、铜、铝、锌等）会直接造成晶圆电路短路、光刻缺陷、器件良率大幅下降。现有水质检测标准检出限无法满足车规级半导体ppt级别超低痕量金属检测需求，本文件建立电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）直接进样检测方法，无需样品预浓缩，适配电子超纯水全工段水质检测，填补国内电子级超纯水ppt级多元素同步检测国标空白。

配套标准说明：本文件与CECS118-2023《电子工业超纯水系统工程施工及质量验收规范》、HG/T5756-2020《半导体超纯水制备用抛光混床树脂技术规范》、SEMIF63超纯水水质标准配套使用，统一半