SEMI F70-23 中文版 超纯水系统化学清洗与消毒效果验证标准规范.docxVIP

SEMIF70-23中文版超纯水系统化学清洗与消毒效果验证标准规范

前言

本文件由国际半导体设备与材料协会（SEMI）环境健康与安全委员会、公用工程纯水分会联合编制，依照SEMI标准化导则通用规则起草，2023年正式发布并同步生效，替代旧版SEMIF70-18，是全球半导体、先进面板、光伏新能源领域超纯水系统清洗消毒唯一通用强制验证标准。

标准归口组织：SEMIUltra-PureWaterSystemsTechnicalCommittee（超纯水系统技术委员会）

发布日期：2023年05月15日

生效日期：2023年09月01日

适用地域效力：全球半导体工厂新建纯水系统验收、年度预防性维护、污染应急处置、第三方审计、工艺良率异常溯源均需遵照本标准执行；同时适配中国境内所有外资、内资晶圆厂、面板厂超纯水系统，可与国内GB/T30306-2023、CECS118-2023超纯水工程标准双向兼容互认。

编制背景与修订说明：超纯水系统长期连续运行过程中，会持续滋生生物膜、微生物胶体、有机垢、无机盐结垢、管网微量金属析出污染物，直接导致系统电阻率衰减、TOC抬升、颗粒数超标、微生物超标，进而引发晶圆微观缺陷、光刻胶不良反应、芯片漏电等工艺良率问题。旧版SEMIF70-18存在消毒药剂适配场景不全、ppb级超低残留验证指标缺失、闭式管网死角验证方案空白、停机清洗与在