SEMI F104-22 中文版 超纯水系统部件颗粒析出量测试与评价标准.docxVIP

SEMIF104-22中文版超纯水系统部件颗粒析出量测试与评价标准

文档前言

本文件等同采用SEMIF104-22原版国际标准全文技术框架，结合国内半导体14nm~3nm先进制程超纯水（UPW）系统工程应用、部件入厂检验、现场运维复检实际需求，完成本土化适配修订。本标准聚焦超纯水输送及工艺核心过流部件自身颗粒析出（颗粒贡献量）检测，解决管路、阀门、接头、波纹管、过滤器壳体、流量计等部件在通水、启停、压力波动工况下，内壁材料脱落、微粉尘剥离、微观磨损产生悬浮颗粒污染超纯水水质的行业痛点。

区别于水质末端颗粒检测标准，本标准直接量化单一部件单位表面积原生颗粒析出量，剥离系统管路、后端设备背景颗粒干扰，精准判定部件本体洁净等级；同时设置静态冲洗测试、动态循环测试两套标准化测试方案，分别匹配部件静置通水、系统频繁启停变工况两种真实运行场景，可直接用于部件来料验收、新系统调试准入、老旧部件更换复检、材料替代合规性验证四大场景。本标准与SEMIF50、SEMIF57、SEMIF63系列超纯水配套标准完全兼容，是半导体纯水系统部件洁净度管控的强制性配套测试规范。

1范围

1.1适用范围

1.1.1本标准规定了超纯水系统全部流体过流部件颗粒析出量的测试环境要求、试样预处理流程、静态冲洗测试方法、动态循环测试方法、温度与流量修正公式、分级评价阈值、数据判定规则及测试报告编制要求