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高冲击环境下MEMS微结构动态特性对接电性能的影响机制研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）作为多学科交叉的前沿领域，在众多领域得到了广泛应用。MEMS技术融合了微电子、微机械、材料、物理、化学、生物等多种学科与技术，能够将微传感器、微执行器、信号处理和控制电路等集成在一个微小的芯片上，实现微观尺度的传感、控制和执行等功能。其具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、集成度高、可靠性强等优点，为现代科技的发展带来了新的机遇和突破。

在航空航天领域，MEMS传感器被广泛应用于惯性导航、姿态