第3章晶圆制造并行机调度问题建模.PDFVIP

第章晶圆制造并行机调度问题建模

3

3.1引言

,。

晶圆制造系统是典型的离散时间动态系统存在各种各样的不确定性设

、、、、、

备情况变化客户需求变化加工瓶颈变化新产品试制临时工艺更改返工等

,。

都会影响生产线正常运行造成性能指标波动晶圆制造过程集成混合了各种

,。

生产调度模型大大增加了生产线复杂性和调度难度为了设计有效的晶圆制

,

造系统并行机调度方法首先需要建立合理的调度模型对不同设备调度的本质

特点进行分析。

,:

具体来说该模型应该具有以下功能①对并行设备的内在运行变化过程

,,

和机理进行分析确定系统的静态和动态因素对系统运行性能的影响进而为

;,

建立有效的调度方法提供基础②确定评价调度性能的评价指标进而对调度

,。

方法的性能进行快速有效的评价以验证调度方法的有效性

,

目前晶圆制造系统中加工系统并行机调度问题的建模方法主要有数学规

;

划模型和排队论模型物流运输系统并行机调度问题的建模方法主要有复杂网

、。

络模型马尔可夫模型及仿真模型等

3.2晶圆制造加工系统建模

3.2.1基于数学规划模型的晶圆制造加工系统建模

3.2.1.1基本概念

,。

数学规划是运筹学的一个重要分支也是现代数学的一门重要学科其基