基于分离重叠谱峰的在线过程质谱气体定量分析方法.pdfVIP

第44卷第4期质谱学报Vol.44No.4

2023年7月JournalofChineseMassSpectrometrySocietyJul.2023

基于分离重叠谱峰的在线过程

质谱气体定量分析方法

魏富强1，黄泽建²，江游?，戴新华²，方向?，金尚忠1

（1.中国计量大学光学与电子科技学院，浙江杭州310018；

2.中国计量科学研究院前沿计量科学中心，国家市场监管技术创新中心（质谱），北京100029）

摘要：在线定量分析工业生产过程的反应气体或尾气，获知各组分气体含量，有助于及时调整生产工艺、

提高产品质量，对相关工业的转型升级有着重要的意义。但受工业生产成本的影响，价格高昂的高分辨

率质谱仪在工业在线定量分析中的应用相对局限，而采用低分辨率质谱仪检测出的带有重叠谱峰的质

谱图可能会对反应气体或尾气的准确定量造成困难。虽然现有的在线定量分析方法较为成熟，但在定

量准确度、方法适用性以及设备复杂性方面仍存在优化空间。为实现更准确且高效的在线定量分析，本

研究提出了采用在线过程质谱仪对反应气体或尾气进行检测并分离重叠谱峰的定量分析方法。首先，

根据工业生产场景精确预估待测反应气体或尾气的各组分气体及其含量，获得预测矩阵并配制校正标

气。其次，通过查找各组分气体的标准质谱图，获得校正标气的所有重叠谱峰，根据各组分气体的主峰

与重叠谱峰之间的关系构造最简单的比值矩阵，并配制与相关组分气体含量相同的比值标气修正比

值矩阵。然后，利用质谱仪测量校正标气获得校正矩阵，并与预测矩阵和比值矩阵构建校正数学模型

求得相对灵敏度矩阵。最后，根据计算出的相对灵敏度矩阵、修正后的比值矩阵与测算待测反应气体

或尾气后获得的检测矩阵一同构建定量数学模型，实时求得各组分气体的含量矩阵，实现对工业生产

过程的实时监测与调控。采用该方法分析具有代表性的酵母菌发酵罐尾气时，表现出准确度高且适

用性强的特点，经过多次在线定量分析实验后，其最大定量误差可控制在0.4%以内，最大定量相对

标准偏差可限制在2%以内。

关键词：在线定量分析；在线过程质谱仪；四极杆质谱仪

中图分类号：0657.63文献标志码：A文章编号：1004-2997（2023)04-0496-12

doi:10.7538/zpxb.2022.0167

GasQuantitativeAnalysisMethodofOnlineProcessMassSpectrometry

BasedonSeparationofOverlappingSpectralPeaks

WEIFu-qiang,HUANGZe-jian’,JIANGYou’,DAIXin-hua,FANGXiang,JINShang-zhong

(1.CollegeofOpticalandElectronicTechnology,ChinaJiliangUniversity,Hangzhou310018,China;

2.TechnologyInnovationCenterofMassSpectrumforStateMarketRegulation,

CenterforAdvancedMeasurementScience,NationalInstituteofMetrology,Beijing100029,China)

Abstract:Onlinequantitativeanalysisofthereactiongasortailgasofindustrialproduc-

tionprocesscanhelptoadjusttheproductionprocessandimproveproductqualityin

国家重点研发计划项目（2021YFF0600202，2016YFF0102603）；中国科学院海洋大科学研究中心重点部署项目（COMS202